氧分子的直徑小于氮分子的直徑，因此擴(kuò)散速率比氮的快幾百倍。因此，借助于碳分子篩的氧吸附速率也非?？欤⑶椅皆诩s1內(nèi)達(dá)到90％以上。左右，這時(shí)吸附主要是氧氣，其余主要是氮?dú)?。氮?dú)猓∟2）是一種無色、無味、無臭的惰性氣體，密度為1.2506kg/m3，熔點(diǎn)為-209.86℃，沸點(diǎn)為-195.8℃，稍溶于水和乙醇，化學(xué)性質(zhì)不活躍。深冷制氮可制取純度≧99.999%的氮?dú)狻５獨(dú)饧兌仁艿降獨(dú)庳?fù)荷、塔板數(shù)量、塔板效率和液空中氧純度等的限制，調(diào)節(jié)范圍很小。因此，對(duì)于一套深冷制氮設(shè)備其產(chǎn)品純度基本是一定的，不便調(diào)節(jié)。

制氮機(jī)的深冷空分制氮原理不僅可以產(chǎn)生氮?dú)?，還可以產(chǎn)生液氮，滿足液氮加工的要求，可以儲(chǔ)存在液氮儲(chǔ)罐中。當(dāng)間歇性氮?dú)庋b載或空氣分離設(shè)備被修復(fù)時(shí)，液氮儲(chǔ)存在儲(chǔ)罐中。進(jìn)入蒸發(fā)器后，將其加熱并送入產(chǎn)品氮?dú)夤芫€，以滿足工藝裝置的氮?dú)庑枨?。?dāng)?shù)獨(dú)膺B續(xù)負(fù)荷大于600 m3n/h，間斷負(fù)荷用量大，液氮汽化已不能滿意其用量時(shí)，可采用以深冷制氮為主，變壓吸附間斷供氣的方式。當(dāng)?shù)獨(dú)膺B續(xù)負(fù)荷小于600 m3n/h，可采用變壓吸附制氮。

制氮機(jī)中裝有碳分子篩的吸附塔共有二個(gè)，一個(gè)塔工作時(shí)，另一個(gè)塔則減壓脫附。潔凈空氣進(jìn)入工作吸附塔，經(jīng)過分子篩時(shí)氧、二氧化碳和水被其吸附，流至出口端的氣體便是氮?dú)饧拔⒘康暮脱?。氧分子的直徑小于氮分子的直徑，因此擴(kuò)散速率比氮的快幾百倍。因此，借助于碳分子篩的氧吸附速率也非常快，并且吸附在約1內(nèi)達(dá)到90％以上。左右，這時(shí)吸附主要是氧氣，其余主要是氮?dú)??？諝赓A藏的作用，一是使壓縮空氣進(jìn)一步冷卻，使部分水蒸氣吸油冷凝為水及油，從排污口排出，減少空氣預(yù)處理系統(tǒng)的負(fù)載；二是使輸入PSA制氮機(jī)的源料氣比較平穩(wěn)。