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氣體避免接觸火花、電流、電弧、必要的還要加裝防靜電裝置,氧化性氣體避免接觸油污、材料、使用管道要無油,有毒氣體使用時不可放在屋內,要有專門的氣體放置區(qū),腐蝕性氣體要避免人員接觸,氣體儲存區(qū)要嚴禁明火、嚴禁吸煙。
一、氣體和氧化性氣體使用時使用人員千萬不可自己混合,如需混合氣體需有技術條件的廠家來提供。
二、 氣體使用時所能接觸的材料,不能有和此種氣體不相容或起反應的材料。
三、使用人員要按照所使用氣體質做的性必要的防護措施(穿戴護照的安全眼睛、防毒面具、相應材料的防護服、皮手套等),廢氣要按照合適的方法處理。
四、氣體要在保質期內使用,不可超期使用。
五、 氣體使用期間,如發(fā)現(xiàn)問題應立即停止使用,待問題調查清楚并解決后方可繼續(xù)使用,如屬于氣體性質原因所引起,應終止使用,把剩余氣體按合適方法處理
半導體生產用高純氣體的分類
在高新技術產業(yè)中的半導體生產過程中,需要使用到很多高純氣體,這是普通氣體的提純,具體可以分為以下幾類:
特種氣體:sih4、ph3、b2h6、a8h3、cl、hcl、cf4、nh3、pocl3、sih2cl2、sihcl3、nh3、bcl3、sif4、clf3、co、c2f6、n2o、f2、hf、hbr、sf6等,以及它們與氮、氬、氫、氦的混合氣體等,若以上述半導體使用時危險性的分類,可分為:
一、可燃、自燃、可燃氣體,在空氣等助燃氣體中點火就會燃燒,可燃、氣體都有一定的火燃燒范圍,此范圍越大的氣體則危險越高,屬于此類氣體如:h2、nh3、sif4、ph3、2h6、clf3、sih2cl2、sihcl3等;
氣體混配器工作原理!
氣體混配器也稱氣體配比器、混合柜,該裝置是將需要使用的兩種或多種氣體,按生產工藝要求進行配比,以獲取均勻的混合氣體。此裝置具有配比精度高、流量大、比例穩(wěn)定等特點,混合精度可達到±1.5%,且輸出穩(wěn)定等特點,可廣泛應用于焊接、鑄造、化工、船舶、金屬表面處理、食品保鮮等行業(yè)。
工作原理:
兩元或多元需要混合的氣體經過單向閥進入兩級或多級壓力平衡裝置,平衡其輸入壓差,從而保證了混合前組分氣體和稀釋氣體的壓力相同,然后調節(jié)流量控制閥,可將各流量依據(jù)希望達到的混氣比例進行調定。原理上采用動態(tài)氣體混合法,即混即用,從而保證了混配氣體的均勻性,復現(xiàn)性優(yōu)良,比例穩(wěn)定??蛇m用于配制焊接混合氣、氣調保鮮混合氣、電光源混合氣,檢漏(報警)混合氣,消菌混合氣等。