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流量控制器優(yōu)點(diǎn)
熱式質(zhì)量流量器可測(cè)量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。
熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)活動(dòng)部件,無(wú)分流管的熱分布式儀表無(wú)阻流件,壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表,雖在測(cè)量管道中置有阻流件,但壓力損失也不大。
熱式質(zhì)量流量計(jì)使用性能相對(duì)可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計(jì)算單元等,僅有流量傳感器,組成簡(jiǎn)單,出現(xiàn)故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體,不必用這些氣體專門標(biāo)定,直接就用空氣標(biāo)定的儀表,實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算,但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變,但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。
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流量控制器的特點(diǎn)
地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);流量控制器的穩(wěn)定控制時(shí)間由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會(huì)發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時(shí)間作為設(shè)備響應(yīng)速度,并賦予波形振蕩幅度一個(gè)容許范圍。有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0~5 sccm,流量范圍可達(dá)0~200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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流量控制器的性能參數(shù)
流量控制器的特點(diǎn)是:當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時(shí),通過(guò)自力式流量控制閥的流量恒定不變。
流量控制器的性能參數(shù)有:流量控制精度、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差,行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中的誤差要求小于等于8%,A類產(chǎn)品的誤差小于等于5%。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設(shè)計(jì)、加工和材質(zhì)。
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