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非標(biāo)定制各種真空腔體
1.腔體常規(guī)材質(zhì):不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體,弧焊接,表面特殊工藝,拋光處理,外表美觀,
2.按ISO9001質(zhì)量管理體系組織設(shè)計(jì)、加工、裝調(diào)、檢驗(yàn)、包裝、運(yùn)輸;
3.提供該設(shè)備的技術(shù)檢測(cè)報(bào)告;
4. 腔體設(shè)有快開進(jìn)樣門,鉸鏈機(jī)構(gòu),移動(dòng)靈活,快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠;
5. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制;
6. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗,表面清潔;
6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
8. 配合適的真空系統(tǒng),真空度可進(jìn)入10-6Pa;
9. 供貨周期:確認(rèn)方案后5到6周;
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真空腔體烘烤注意事項(xiàng)
真空腔體烘烤時(shí)的真空度變化結(jié)果,烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3 Pa時(shí),開始給加熱帶逐漸通電加熱,保持腔體在150℃下進(jìn)行長時(shí)間烘烤。烘烤過程中關(guān)閉離子泵,同時(shí)也給離子泵通電進(jìn)行加熱烘烤,這時(shí)的真空腔體只靠分子泵和前級(jí)泵來排氣。隨著腔體溫度的升高,腔體內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出,真空度會(huì)迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時(shí)間的延長而逐漸減少,因此真空度也逐步好轉(zhuǎn)。停止烘烤時(shí),切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源,然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對(duì)鈦升華泵進(jìn)行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱,但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物,以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后,啟動(dòng)離子泵和鈦升華泵,加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少,系統(tǒng)的真空度會(huì)迅速好轉(zhuǎn)。
新完成的腔體一次烘烤時(shí),一般需要一周時(shí)間,重復(fù)烘烤后單獨(dú)的烘烤時(shí)間可以適當(dāng)減少。為了更準(zhǔn)確地測(cè)量真空度,停止烘烤后也應(yīng)該對(duì)真空計(jì)進(jìn)行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時(shí)間充足的話,烘烤后真空度可提升幾個(gè)數(shù)量級(jí)。
真空腔體介紹
真空腔體真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間,真空是相對(duì)于大氣壓來說的,并非空間沒有物質(zhì)存在.
真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念,開始反映的是空無一物的狀態(tài).即真空并不是無物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對(duì)外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個(gè)能量海,不斷振蕩并且充滿著巨大能量.
真空的屬性確實(shí)是需要用空間來描述,但只是種數(shù)學(xué)表示,是為了方便研究才引入的參量,并不是說真空的性質(zhì)取決于空間.
真空腔體是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗(yàn)和物理測(cè)量等所需要的技術(shù).
用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會(huì)有數(shù)百個(gè)分子存在.
氣體稀薄程度是對(duì)真空的一種客觀量度,直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小,氣體壓力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.