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真空鍍膜定義真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。顧名思義真空鍍膜是在真空狀態(tài)下,一般指空氣壓強(qiáng)在10-1~l0-4Pa 范圍,形成的薄膜層一般在l0 微米左右厚度。
陽(yáng)極氧化:應(yīng)用于金屬反光杯。有效反光率不到真空鍍鋁的一半。優(yōu)點(diǎn)是不怕紫外線、紅外線的損害,甚至可以用水清洗。
真空鍍膜應(yīng)用,簡(jiǎn)單地理解就是在真空環(huán)境下,利用蒸鍍、濺射以及隨后凝結(jié)的辦法,在金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體以及塑料件等物體上鍍上金屬薄膜或者是覆蓋層。
相對(duì)于傳統(tǒng)鍍膜方式,真空鍍膜應(yīng)用屬于一種鍍膜,它的主要方法包括以下幾種
1、真空蒸鍍:其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱帶蒸發(fā)物質(zhì),使其氣化或升華,蒸發(fā)離子流直接射向基片,并在基片上沉積析出固態(tài)薄膜的技術(shù)。
2、濺射鍍膜:濺射鍍膜是真空條件下,在陰極接上2000V高壓電,激發(fā)輝光放電,帶正電的離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過(guò)惰性氣氛沉積到基片上形成膜層。
真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或化學(xué)方法,使物體表面獲得所需的涂層,目前已被廣泛應(yīng)用于耐酸、耐蝕、耐熱、表面硬化、裝飾、潤(rùn)滑、光電通訊、電子集成、能源等領(lǐng)域。真空鍍膜技術(shù)也是PVD涂層的常用制備方法,如真空蒸發(fā)、濺射鍍膜和離子鍍等通常稱為物理氣相沉積法(PVD),是基本的涂層制備技術(shù)。它們都要求淀積薄膜的空間要有一定的真空度。
各種鍍膜技術(shù)都需要一個(gè)蒸發(fā)源或蒸發(fā)靶,以便將蒸發(fā)的成膜物質(zhì)轉(zhuǎn)化為氣體。隨著來(lái)源或目標(biāo)的不斷提高,制作材料的選擇范圍也大大擴(kuò)大。無(wú)論是金屬、合金、化合物、陶瓷還是有機(jī)物,都可以氣相沉積各種金屬膜和介質(zhì)膜,不同的材料可以同時(shí)氣相沉積得到多層膜。
蒸發(fā)或?yàn)R射出的成膜材料是在一般磁控濺射條件下與待鍍工件形成膜的過(guò)程。膜厚可以測(cè)量和控制。磁控鍍膜機(jī)的真空鍍膜技術(shù)的特點(diǎn)主要包括真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍、真空束沉積和化學(xué)氣相沉積。