氦質(zhì)譜檢漏儀

按檢漏儀上的“開始”按鍵，檢漏儀開始對氣瓶夾層進行抽空。達到檢測條件后，用噴槍將分別在氣瓶內(nèi)膽和外膽噴吹氦氣，如產(chǎn)品存在泄漏，氦氣會進入到夾層內(nèi)部，進而被抽入檢漏儀內(nèi)，而被檢測到，超過設(shè)定報警值，檢漏儀會顯示漏率并發(fā)出聲光報警，提示不合格。

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氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4），易于穿過漏孔。

氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時，不易受其他離子的干擾

氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的氦質(zhì)譜檢漏儀關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。