適用于界面化學(xué)、無(wú)機(jī)物、半導(dǎo)體、高分子、生物、藥學(xué)、醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中，除了微粒子外，膜及平板狀樣品的表面科學(xué)的基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究。

新功能性材料領(lǐng)域

燃料電池相關(guān)（碳納米軟管、富勒烯、功能性膜、觸媒、納米金屬）

生物納米相關(guān)（納米、人造分子、DDS、生物納米粒子）、納米氣泡等

用途：

半導(dǎo)體領(lǐng)域

查明附著在硅體晶圓的異物的結(jié)構(gòu)

研磨剤或添加剤和晶圓表面的相互作用的研究

CMP懸濁液

產(chǎn)品規(guī)格樣:品對(duì)應(yīng)尺寸i 大50英吋方位角±90°傾斜角度±80°圖形產(chǎn)生器型號(hào)VG series(Astrodesign公司產(chǎn)品)、LD-99(ITES公司產(chǎn)品)檢測(cè)器高感度分光輝度計(jì)、PMT(光電子倍增管)

其它可適用檢測(cè)器: BM-5A,BM-7(TOPCON公司產(chǎn)品)、PR-880 (Photo Research公司產(chǎn)品)暫存枚數(shù)i大10枚(可在背光光源亮燈狀態(tài)下搬送)