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OPTM光學(xué)膜測(cè)試來(lái)電咨詢“本信息長(zhǎng)期有效”

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發(fā)布時(shí)間:2020-09-06 17:41  

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考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時(shí),將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。


膜厚測(cè)試儀調(diào)校步驟:選擇要調(diào)校的產(chǎn)品程式;選擇菜單“調(diào)校---調(diào)?!遍_(kāi)始進(jìn)行“調(diào)校”屏幕左下角的指令窗口會(huì)出現(xiàn),按“確定”結(jié)束調(diào)校。

膜厚儀直接的鍍膜操縱方法是石英晶體微量平衡法(QCM),此法可以直接驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)祥,通過(guò)PID控制循環(huán)驅(qū)動(dòng)擋板,保持蒸發(fā)速率。只有將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接,它就可能節(jié)制全體的鍍膜進(jìn)程。然而QCM的正確度是有限的,部分起因是由于它監(jiān)控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學(xué)厚度。


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