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大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。歡迎新老客戶來(lái)電咨詢!
考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]
當(dāng)樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時(shí),將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。
膜厚測(cè)試儀調(diào)校步驟:選擇要調(diào)校的產(chǎn)品程式;選擇菜單“調(diào)校---調(diào)?!遍_(kāi)始進(jìn)行“調(diào)校”屏幕左下角的指令窗口會(huì)出現(xiàn),按“確定”結(jié)束調(diào)校。
膜厚儀直接的鍍膜操縱方法是石英晶體微量平衡法(QCM),此法可以直接驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)祥,通過(guò)PID控制循環(huán)驅(qū)動(dòng)擋板,保持蒸發(fā)速率。只有將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接,它就可能節(jié)制全體的鍍膜進(jìn)程。然而QCM的正確度是有限的,部分起因是由于它監(jiān)控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學(xué)厚度。