如不增加時(shí)間和拋光的工序，銅電極不可能制作出這樣的工件。另外，石墨分為不同的等級，在特定的應(yīng)用程序下使用適當(dāng)?shù)燃壍氖碗娀鸹ǚ烹妳?shù)才能達(dá)到理想的加工效果，若在使用石墨電極的火花機(jī)上操作人員使用與銅電極相同的參數(shù)，那么結(jié)果肯定是令人失望的。如果要嚴(yán)格控制電極的物料，可將石墨陽極板在粗加工時(shí)設(shè)于非損耗狀態(tài)（損耗少于1%），但銅電極則不使用。

1>.一般石墨舟在運(yùn)行 100 至 120 次后就應(yīng)該對石墨舟進(jìn)行清洗,石墨舟清洗次數(shù)達(dá)到后，硅片會(huì)發(fā)紅。 這是因?yàn)橹凵系?SiN 會(huì)隨著運(yùn)行次數(shù)的增加而增加，影響舟的正常使用。

2>.在室溫條件下 (<40°C)，將舟放入32升HF酸中，大約高過石墨舟1.5cm左右。

濃度是 10%， 腐蝕時(shí)間為 10-12小時(shí)。低濃度條件下，腐蝕槽會(huì)被產(chǎn)生的 SiN 顆粒污染，因此需要進(jìn)行定期的過濾維護(hù)。 濃度高于 10%會(huì)對操作人員造成危險(xiǎn)。其他部件應(yīng)該被分開放入腐蝕槽內(nèi)并且不可互相接觸，這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位，這對于石墨連接塊而言更為重要。

真空爐發(fā)熱元器件采用石墨材料來做發(fā)熱管是好的材料選擇，首先石墨有良好的導(dǎo)電性，同等條件下，石墨的導(dǎo)電性是銅的導(dǎo)電性的3倍，而石墨在高溫下，其導(dǎo)電性能不會(huì)隨著溫度的上升而減弱，相反還會(huì)上升。石墨可以耐到2000多度的高溫，而銅只能耐到800度左右，現(xiàn)在的發(fā)熱材料鎢絲也就只能耐到1100度的高溫，所以在一些高溫爐的發(fā)熱材料的先擇中，選用石墨是好的一種發(fā)熱材料。再有石墨具有良好的熱膨脹系數(shù)，真空爐為了提升效率，一般采用液態(tài)氮作為冷卻劑，一般情況下是在1300度以上的溫度下，10分鐘冷卻到常溫，一般的材料在這樣的冷熱沖擊下，都不能夠完整的存在，除了石墨。