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張家港光刻板給您好的建議,制版廠

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發(fā)布時間:2020-11-29 08:14  






公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!

尺寸漲縮原因分析


膠片在光繪前沒有經(jīng)過預(yù)置

由于膠片制造時無法預(yù)先控制膠片中的濕度與每個生產(chǎn)車間的濕度一致,因此使用之前應(yīng)先使其與工作環(huán)境達到平衡的狀況。建議預(yù)置時間為12小時,預(yù)置時必須打開膠片的內(nèi)包裝,使其與外界的空氣充分接觸。








透明基板1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)蘇打玻璃(Soda-lime Glass)低膨脹玻璃(Low Expansion Glass)2、透明樹脂遮光膜(1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。(2)乳膠。







濺鍍法(Sputtering):(1)上平行板:裝載濺鍍金屬的靶材;下平行板:作為濺鍍對象的玻璃基板。(2)將氣(Ar 2 )通入反應(yīng)艙中形成等離子體;離子(Ar )在電場中被加速后沖撞靶材;受沖擊的靶材原子會沉積在玻璃基板上從而形成薄膜。




掩模板是根據(jù)放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板。為了保證光刻版潔凈,必須定期對光刻版進行清洗,而清洗的效果與清洗工藝以及各清洗工藝在設(shè)備上的合理配置有著密切的聯(lián)系。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,通過類似照相制版的方法制備而成。具有微納圖形結(jié)構(gòu)的掩模板通常使用電子束光刻機直接制備,其制作過程就是典型的光刻工藝過程,包括金屬各層沉積、涂膠、電子束光刻、顯影、鉻層腐蝕及去膠等過程。





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