氦質譜檢漏儀的工作原理是什么？

檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內充滿氦氣，用質譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質譜儀檢測到。質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀，對分辨率和檢測的質量范圍要求很低，但對靈敏度要求較高。其實各個種類的質譜儀都可用來作為檢漏質譜儀。

    

氦質譜檢漏儀的特點

氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的專用質譜儀，這種質譜儀將其它質量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，氦質譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。

氦質譜檢漏儀的真空系統(tǒng)

氦質譜檢漏儀的真空系統(tǒng)提供質譜室正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦質譜檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。

1、檢漏閥：接在質譜室和被檢件之間的管道上。有些氦質譜檢漏儀采用節(jié)流閥，控制流入質譜室的氣體流量。

2、真空規(guī)：一般采用冷陰極磁控放電直空規(guī)(潘寧規(guī)，又稱冷規(guī))來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。

3、標準漏孔：一般氦質譜檢漏儀內都附有標準漏孔(大多為薄膜滲氦型)，用它來校準氦質譜檢漏儀的Z小可檢漏率和對氦質譜檢漏儀輸出指示進行定標。

真空法氦質譜檢漏的優(yōu)缺點

真空法的檢測標準主要有QJ3123-2000《氦質譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設備等。

真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可以準確定位，能實現(xiàn)大容器或復雜結構產品的檢漏。

真空法的缺點是只能實現(xiàn)一個大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態(tài)。