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氧化鋅晶體襯底基片-品質(zhì)保證

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發(fā)布時間:2020-08-18 05:55  






氧化鋅(ZnO)晶體主要性能參數(shù):晶體結(jié)構(gòu):六方;晶格常數(shù):a=3.252A c=5.313 A;密度:5.7(g/cm3);硬度:4(mohs);熔點:1975℃;熱膨脹系數(shù):6.5 x 10-6 /℃//a 3.7 x 10-6 /℃//c;熱 容:0.125 cal /g.m;熱電常數(shù):1200 mv/k @ 300 ℃;熱 導(dǎo):0.006 cal/cm/k。目前,生長氧化鋅(ZnO)單晶體的方法有CvT、助熔劑法、溶液法和水熱法。采用水熱法已經(jīng)生長出2~3英寸的ZnO晶體,這證明水熱法是一種生長高質(zhì)量、大尺寸ZnO單晶體的zui有效的方法。








氧化鋅(ZnO)晶體主要性能參數(shù):晶體結(jié)構(gòu):六方;晶格常數(shù):a=3.252A c=5.313 A;密度:5.7(g/cm3);硬度:4(mohs);熔點:1975℃;熱膨脹系數(shù):6.5 x 10-6 /℃//a 3.7 x 10-6 /℃//c;熱 容:0.125 cal /g.m;熱電常數(shù):1200 mv/k @ 300 ℃;熱 導(dǎo):0.006 cal/cm/k。采用化學(xué)氣相法在加熱溫度為300~500℃下進行試驗,加熱溫度對氧化鋅(ZnO)晶體的外觀形貌有很重要的影響。






氧化鋅(ZnO)是一致熔融化合物,熔點為1975℃。由于高溫下氧化鋅(ZnO)的揮發(fā)性很強,傳統(tǒng)的提拉法等熔體生長工藝很難獲得氧化鋅(ZnO)晶體體單晶。目前,氧化鋅(ZnO)晶體體單晶的生長方法主要有緩慢冷卻法、水熱法和氣相生長法。氧化鋅(ZnO)晶體主要性能參數(shù):透過范圍:0.4-0.6 um > 50% at 2mm;晶向:<0001>、<11-20>、<10-10>±0.5o 尺寸(mm) 25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸的襯底。









目前,生長氧化鋅(ZnO)單晶體的方法有CvT、助熔劑法、溶液法和水熱法。采用水熱法已經(jīng)生長出2~3英寸的ZnO晶體,這證明水熱法是一種生長高質(zhì)量、大尺寸ZnO單晶體的zui有效的方法?;谘趸\(ZnO)的紫外激光器的實現(xiàn)掀起了對于傳統(tǒng)的纖鋅礦結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體氧化鋅(ZnO)材料的新的研究熱潮.氧化鋅(ZnO)以其優(yōu)良的綜合性能將成為下一代光電子材料,因此對氧化鋅(ZnO)單晶的研究有重要的理論和實踐意義。







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