無塵車間潔凈室管理制度

1 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進行管理。

實力公司用案例說話，全國各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費咨詢、設計，可就近安排去感興趣的工程項目實地參觀考察

無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。無錫恒盛空調凈化有限公司始終處在行業(yè)的地位，也早已敏銳的預知市場需求，提前做好了技術儲備，近一年來已經承建了多個生物安全實驗室，并已竣工完成通過驗收，客戶主要在無錫、上海、北京等經濟發(fā)達地區(qū)。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。

凈化無塵車間施工的特點

一、潔凈室內的污染源：

潔凈室內的污染源主要來自四個方面：

1、大氣中含塵、含菌、凈化系統(tǒng)中新風帶入的塵粒和微生物；

2、作業(yè)人員發(fā)塵；

3、建筑圍護結構、設施的產塵。  

二、凈化參數(shù)（一般要求）

換氣次數(shù)：100000萬級≥15次；10000級≥25次；1000級≥50次。

平均風速：10級、100級（斷面風速）0.3-0.5 m/s；

溫度：冬季＞16 ℃ 夏季＜26℃；波動±2℃。

相對濕度宜45-65%；

噪聲≤65dB(A)；

照度≥200LX

請注意你所需要的產品的檔次，國內市場上超凈工作臺一般分檔為：

經濟型：采用國標的空氣過濾器，指標低于國際標準，外觀也欠佳;風機一般是采用國產的普通風機，剛開始工作時性能較好，時間長了性能無法保證;為了降低成本，多不采用外排空氣過濾器;控制系統(tǒng)簡單，外觀欠佳。

普通型：全進口的或多采用國外原料和國外技術在國內生產的空氣過濾器，性能接近進口產品;風機采用中檔產品，也有用的風機，比較可靠，但多數(shù)不是為超凈工作臺的特殊需要而設計的，所以長時間使用中的風量不均勻是它的特點;綜合性能比較好，不過控制系統(tǒng)比較簡單，玻璃門一般是手動的。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。

全進口產品或多采用原裝的過濾器;風機使用的是按超凈工作臺使用特性設計的進口的風機;主要性能較普通型為高;控制系統(tǒng)為用戶專門優(yōu)化過：玻璃門多數(shù)是由電動機驅動的，箱體內有傳感器，可以反映過濾器的工作情況，以提高產品的可靠性，少數(shù)產品使用嵌入式控制系統(tǒng)。2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。