好的潔凈車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。嚴格潔凈車間的管理，控制人員數(shù)量，避免不必要的移動，人員應(yīng)穿潔凈服。

車間凈化在運行中消耗的能量主要包括:新風(fēng)熱濕處理消耗的能量、系統(tǒng)風(fēng)機運行消耗的能量，潔凈室運行的功率負荷是一般空調(diào)的3-30倍。3、制定清潔管理制度，定期的清潔潔凈車間，定期維護潔凈空調(diào)系統(tǒng)，避免積塵。為了凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能，我們應(yīng)該從系統(tǒng)運行過程中消耗大量能源的項目入手。改變車間溫濕度凈化要求;減少排風(fēng)量;適當(dāng)降低靜壓;采用低阻空氣過濾器;非工作時間，使用值班風(fēng)機運行，系統(tǒng)中的進、回風(fēng)機關(guān)閉。盡量減少因風(fēng)扇及電機溫升而導(dǎo)致的空氣處理所消耗的能源;為減少空調(diào)系統(tǒng)和空調(diào)的漏風(fēng)，采取相應(yīng)的有效措施和方法，達到節(jié)能運行的目的。

7、溫濕度要求：十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

8、配電：潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。

1、耐火等級和防火分區(qū)

從許多潔凈室火災(zāi)實例中我們不難發(fā)現(xiàn)，嚴格控制建筑物的耐火等級十分必要，設(shè)計時將廠房的耐火等級定為一、二級，使其建筑構(gòu)件的耐火性能與甲、乙類生產(chǎn)廠房相適應(yīng)，從而大大減少了火災(zāi)發(fā)生的可能性。

限制防火墻間的面積，設(shè)置防火分區(qū)，一是可以控制火災(zāi)蔓延，減少火災(zāi)損失；二是便于火場撲救，使消防人員既容易在現(xiàn)場尋找火源，也容易安全撤離。