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超精密加工機(jī)的需求急劇增加，在工業(yè)界的應(yīng)用包括非球面光學(xué)鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅(qū)動(dòng)器磁頭、磁盤基板加工、半導(dǎo)體晶片切割等。在這一時(shí)期，超精密加工設(shè)備的相關(guān)技術(shù)，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導(dǎo)軌、油承導(dǎo)軌、摩擦驅(qū)動(dòng)進(jìn)給軸也逐漸成熟。

在精密機(jī)械零件加工工藝路線中，常安排有熱處理工序。熱處理工序位置的安排如下：為改善金屬的切削加工性能，如退火、正火、調(diào)質(zhì)等，一般安排在機(jī)械零件加工前進(jìn)行。

精密機(jī)械零件加工的磨削加工

磨削加工采用的機(jī)床有三種主要類型：平面磨床、內(nèi)外圓磨床及工具成型磨削機(jī)床。精加工磨削時(shí)要嚴(yán)格控制磨削變形和磨削裂紋的出現(xiàn)，哪怕是工件表面的顯微裂紋，否則在后續(xù)的工作中也會(huì)漸漸顯露出來。因此，精密磨削時(shí)的進(jìn)刀量要小，磨削中冷卻要充分，盡量選擇冷卻液介質(zhì)，加工余量在0.01mm內(nèi)的零件要盡量恒溫磨削。

精加工后技術(shù)要求：

1、精加工后的零件擺放時(shí)不得直接放在地面上，應(yīng)采取必要的支撐、保護(hù)措施。

2、加工面不允許有銹蛀和影響性能、壽命或外觀的磕碰、劃傷等缺陷。

3、滾壓精加工的表面，滾壓后不得有脫皮現(xiàn)象。

4、終工序熱處理后的零件，表面不應(yīng)有氧化皮。經(jīng)過精加工的配合面、齒面不應(yīng)有退火。

零件在制造過程中，可能內(nèi)部存在夾渣、空洞等原始缺陷，在使用過程中可能產(chǎn)生微觀裂紋。這些缺陷不能直接從一般的觀察和測(cè)量中發(fā)現(xiàn)，但它對(duì)機(jī)械可能產(chǎn)生嚴(yán)重的后果，因此，在機(jī)械檢修中，必須有目的的對(duì)某些零件進(jìn)行檢查。

機(jī)械零部件加工的時(shí)候，要了解這個(gè)零件的具體情況，是某一設(shè)備的其中一部分，還是一個(gè)單獨(dú)存在的零件。這個(gè)零件的外形尺寸如何，我們的設(shè)備能不能加工。還有需要通過哪些工序進(jìn)行加工，這個(gè)之間的先后程序如何。還有就是零件在加工當(dāng)中，難做到的是哪些方面。另外零件的加工流程和思路，要在腦子里面形成一個(gè)過程，看有沒有錯(cuò)誤。