電子行業(yè)對(duì)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級(jí)要求很高，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)、照度等都需在控制范圍內(nèi)，對(duì)靜電的要求極其嚴(yán)格。因此，保持萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的濕度尤為重要。太過(guò)干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，造成系統(tǒng)集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間電子廠房的溫度應(yīng)控制在22°C左右，相對(duì)濕度控制在50%-60%之間。這樣可以有效消除車(chē)間內(nèi)靜電，并使人感覺(jué)舒適。在電子行業(yè)中，芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室屬于萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的重要組成部分，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)對(duì)環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪音等也作了嚴(yán)格的規(guī)定。

十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車(chē)間，按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，每立方米空氣中，塵埃粒子數(shù)不超過(guò)三十五點(diǎn)二乘以十萬(wàn)，換氣次數(shù)一般按照每小時(shí)15-20次，適合對(duì)空氣潔凈等級(jí)要求較低的生產(chǎn)場(chǎng)合。十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵凈化車(chē)間在工藝處理措施上，要求空調(diào)系統(tǒng)必須是經(jīng)過(guò)初、中、高三級(jí)過(guò)濾處理的凈化空調(diào)系統(tǒng)，從而保證送入室內(nèi)的空氣是潔凈空氣，能對(duì)室內(nèi)污染空氣進(jìn)行稀釋。

隨著科學(xué)技術(shù)和各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的日新月異的發(fā)展，潔凈室的建造對(duì)空氣過(guò)濾器尤其是過(guò)濾器提出了更高的要求，如要求對(duì)0.05-0.1weimi5的過(guò)濾效率、甚至0.01μm的過(guò)濾效率達(dá)到7個(gè)8個(gè)9，即被稱(chēng)為超ULPA的過(guò)濾器；要求在額定風(fēng)量下的過(guò)濾器阻力小于50Pa；沉積在濾料上的微粒不允許再飛散的可能；過(guò)濾器的使用壽命應(yīng)在5年以上，并且廢棄的過(guò)濾器容易處理等。

無(wú)塵凈化車(chē)間在進(jìn)行初步設(shè)計(jì)的時(shí)候，需要綜合考慮和衡量一些因素。一般來(lái)說(shuō)，無(wú)塵凈化車(chē)間工程設(shè)計(jì)步驟包括以下幾個(gè)方面：首先，要收集設(shè)計(jì)所需的基礎(chǔ)資料，包括產(chǎn)品凈化工程方案、生產(chǎn)規(guī)模、生產(chǎn)方法與工藝、原輔料及中間產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格、成品包裝形式與規(guī)格、建設(shè)規(guī)模、用地情況以及建設(shè)方的特殊要求等。如果是改建項(xiàng)目，還應(yīng)收集原有設(shè)計(jì)方案資料。