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多源蒸發(fā)系統(tǒng)介紹
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)供應(yīng)電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品,以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。
主要用途:
系統(tǒng)主要用來生長EL OEL分子有機(jī)電致發(fā)光器件薄膜的研究工作
系統(tǒng)組成:
該類設(shè)備為雙室?guī)痔紫浣Y(jié)構(gòu)的有機(jī)、無機(jī)、多源有機(jī)、無機(jī)氣相分子沉積設(shè)備,采用直線式結(jié)構(gòu),由一個(gè)金屬材料生長、氧化物生長室、一個(gè)有機(jī)材料生長室和一個(gè)手套箱組成,金屬材料生長和氧化物生長室以及進(jìn)樣室/氧化物生長室之間通過空氣鎖聯(lián)接,樣品通過帶遠(yuǎn)程手控盒功能的電動(dòng)磁力耦合裝置在兩個(gè)生長室之間手動(dòng)傳遞??蛇x手套箱。鈣鈦礦鍍膜機(jī)工作過程中樣品位于真空室上方,蒸發(fā)源位于真空室下方,向上蒸發(fā)鍍膜,且蒸發(fā)源帶有擋板裝置,防止蒸發(fā)源被污染?! ?/span>
有機(jī)熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)介紹
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)生產(chǎn)、銷售電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品,我們公司堅(jiān)持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠為本,講求信譽(yù),以產(chǎn)品求發(fā)展,以質(zhì)量求生存,我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。
真空:極限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢復(fù)工作真空時(shí)間:連接手套箱≤10分鐘
不連接手套箱,充干燥氮?dú)狻?0分鐘
本套設(shè)備配有8個(gè)有機(jī)源及2個(gè)金屬源
金屬蒸發(fā)源和有機(jī)蒸發(fā)源可按客戶要求配置
膜厚探頭及膜厚儀有國產(chǎn)或者進(jìn)口可選
金屬蒸發(fā)源配有1000w電源
有機(jī)蒸發(fā)源配有可控溫電源,控溫精度±1℃
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀
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有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu),主要由二個(gè)有機(jī)材料生長室組成,兩個(gè)有機(jī)材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接,其中一個(gè)生長室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨(dú)立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀的有機(jī)材料生長室主要由真空室腔體組件、有機(jī)蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺(tái)、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。因其具有背景干擾低的特點(diǎn),可用來進(jìn)行納克(ng)級(jí)分析,故而成為業(yè)界定性定量分析的必選儀器。