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發(fā)布時(shí)間:2020-09-08 18:39  






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激光干涉儀的類型有哪些?

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎?

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),經(jīng)放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù)),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。因此,在加工過程中進(jìn)行監(jiān)測(cè)以排除各種因素對(duì)尺寸精度的影響便十分重要。


球桿儀使用方法

球桿儀是用于數(shù)控機(jī)床兩軸聯(lián)動(dòng)精度快速檢測(cè)與機(jī)床故障分析的一種工具。

它由一安裝在可伸縮的纖維桿內(nèi)的位移傳感器構(gòu)成,該傳感器包括兩個(gè)線圈和一個(gè)可移動(dòng)的內(nèi)桿,

其工作原理類同于使用LVDT技術(shù)的位移傳感器。

當(dāng)其長(zhǎng)度變化時(shí),內(nèi)桿移入線圈,感應(yīng)系數(shù)發(fā)生變化,檢測(cè)電路將電感信號(hào)轉(zhuǎn)變成分辨率為0.1μm位移信號(hào),通過接口傳入PC機(jī)。其精度經(jīng)激光干涉儀檢測(cè)達(dá)±0.5μm(在20℃)。


球桿儀測(cè)量誤差方法研究

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,測(cè)量技術(shù)和測(cè)量工具長(zhǎng)足的進(jìn)步。從原始的目測(cè)、步測(cè)法到后來的米尺、游標(biāo)卡尺、千分尺等測(cè)量法,再到應(yīng)變片、電流電壓感應(yīng)等測(cè)量法,電磁相干和相位測(cè)量,光柵測(cè)量到現(xiàn)在的激光測(cè)量。 DBB-Double ball bar)是ISO230-4中所推薦的一種方法。測(cè)針有效的碰點(diǎn)的方法正確有效的使用測(cè)針來觸測(cè)零件時(shí),可以避免掉許多測(cè)量上不必要的誤差產(chǎn)生。


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