鏈條隧道式傳遞機構(gòu)的缺陷是，1、真空室之間的連接閥門需要較大尺寸，這樣，不同真空室之間的氣氛容易互串，進而降低鍍膜質(zhì)量、成品率等；2、需要較高的設(shè)計精度、加工水平，由于是柔性結(jié)構(gòu)，容易出現(xiàn)匹配不準確，導(dǎo)致傳送出現(xiàn)故障。真空鍍膜機往復(fù)步進齒條推桿式傳送機其傳遞過程為，固定在鍍膜室頂上或底盤上（與公轉(zhuǎn)盤同一側(cè)）、并可以往復(fù)運動的齒輪G、齒條H－推桿機構(gòu)，順序?qū)崿F(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿Am從真空室M的公轉(zhuǎn)盤Jm向真空室N的公轉(zhuǎn)盤Jn的傳遞。齒輪、齒條所用的動力是通過軸密封在真空室外的電機來實現(xiàn)。為使自轉(zhuǎn)工件桿脫離公轉(zhuǎn)盤進入下一個公轉(zhuǎn)盤，在公轉(zhuǎn)盤與自轉(zhuǎn)軸之間采用開放式連接，同時在固定于鍍膜室內(nèi)并維持自轉(zhuǎn)的內(nèi)齒輪盤相應(yīng)位置開口，實現(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿從鍍膜室M傳送到下一個鍍膜室N。

全電介質(zhì)反射膜是建立在多光束干涉基礎(chǔ)上的。與增透膜相反，在光學表面上鍍一層折射率高于基體材料的鍍膜，就可以增加光學表面的反射率。簡單的多層反射膜是由高、低折射率的二種材料交替蒸鍍而成的,每層膜的光學厚度為某一波長的四分之一。在這種條件下，參加疊加的各界面上的反射光矢量，振動方向相同。合成振幅隨著薄膜層數(shù)的增加而增加。

原則上說，全電介質(zhì)反射膜的反射率可以無限接近于1，但是薄膜的散射、吸收損耗限制了薄膜反射率的提高。迄今為止，激光反射膜的反射率雖然已超過99.9%，但有一些工作還要求它的反射率繼續(xù)提高。應(yīng)用于強激光系統(tǒng)的反射膜，則更強調(diào)它的抗激光強度，圍繞提高這類薄膜的抗激光強度所開展的工作，使這類薄膜的研究更加深入。

誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當?shù)碾娊橘|(zhì)膜系，以增加勢透過率，減少反射，使通帶透過率增加的一類濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質(zhì)法－珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應(yīng)用價值。特別在紫外區(qū)，一般電介質(zhì)材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。



鍍膜有時僅考慮某一波長，叫做單色分光膜；有時需要考慮一個光譜區(qū)域叫做寬帶分光膜；用于可見光的寬帶分光膜，又叫做中性分光膜。這種膜也常在斜入射下應(yīng)用，由于偏振的影響，二束光的偏振狀態(tài)可以相差很多,在有些工作中，可以不考慮這種差別,但在另一些工作中（例如某些干涉儀），則要求兩束光都是消偏振的，這就需要設(shè)計和制備消偏振膜。