大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

膜厚儀具有測量誤差小、可靠性高、穩(wěn)定性好、操作簡便等特點，是控制和保證產(chǎn)品質(zhì)量必不可少的檢測儀器，廣泛地應用在制造業(yè)、金屬加工業(yè)、化工業(yè)、商檢等檢測領域。

測量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態(tài)來發(fā)送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。



 

膜厚測試儀調(diào)校步驟：選擇要調(diào)校的產(chǎn)品程式；選擇菜單“調(diào)校---調(diào)?！遍_始進行“調(diào)校”屏幕左下角的指令窗口會出現(xiàn),按“確定”結(jié)束調(diào)校。