種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級(jí)的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

一個(gè)好的凈化工程公司可能會(huì)比一個(gè)普通的公司收取稍高的費(fèi)用，但是它可以為用戶保證很佳的工程效果。一捏單扇平開凈化車間門的四邊縫隙中倒有三邊需作不同的處理，而且雙扇凈化車間門的中縫也是特殊構(gòu)造。工程效果突出，既能保證工作的生產(chǎn)，又在節(jié)能方面給客戶帶來巨大利益。因此，有需要凈化工程服務(wù)的企業(yè)，必須選擇的潔凈車間凈化公司，以確保優(yōu)良的工程效果。　

一家的潔凈工程公司除了上述優(yōu)勢外，還善于站在用戶的角度來思考問題。外部水管路必須清潔干凈后，方可與本空調(diào)機(jī)組的換熱進(jìn)、出水管路連接，以免將換熱器管路堵死。也就是說，公司會(huì)針對用戶的實(shí)際情況來推薦匹配的設(shè)備，而不是一味的推薦高大上的材料和凈化等級(jí)，這就有效的保證了用戶的利益。畢竟凈化等級(jí)越高，造價(jià)也越高，后期的維護(hù)成本也就高。

非工作時(shí)間采用值班風(fēng)機(jī)運(yùn)行，關(guān)閉系統(tǒng)中的送回風(fēng)機(jī)。2倍進(jìn)行考慮，務(wù)必注意承載體的強(qiáng)度和可靠性，否則將有重大隱患。非工作時(shí)間，送風(fēng)機(jī)、回風(fēng)機(jī)均停止運(yùn)行，為了使系統(tǒng)停止運(yùn)行后，避免室外污染空氣通過安徽車間凈化的圍護(hù)結(jié)構(gòu)縫隙和由新風(fēng)口經(jīng)回風(fēng)道進(jìn)入安徽車間凈化，破壞室內(nèi)的潔凈度而設(shè)置值班風(fēng)機(jī)；值班風(fēng)機(jī)的風(fēng)量一般是按維持室內(nèi)要求的正壓值所需的換氣次數(shù)來考慮的，值班風(fēng)機(jī)運(yùn)行中所消耗的電能和處理空氣所消耗的冷、熱量要比系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)小得多，設(shè)有值班風(fēng)機(jī)的凈化空調(diào)系統(tǒng)在非工作時(shí)，盡量使用值班風(fēng)機(jī)運(yùn)行，以達(dá)到更好的節(jié)能效果。

百級(jí)潔凈室規(guī)劃裝修參數(shù)規(guī)范：

　　1. 潔凈度：粒徑≥0.1微米的塵土粒子數(shù)量需求小于100個(gè)。

　　2. 壓差及溫濕度：溫度22℃±2;濕度55%±5;根本房間要滿布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度確保在10pa左右。

　　3. 照度：由于無塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求，而且又都是密閉性房子，所以，對照明一向有很高的要求。