好的潔凈車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢。第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。

工程的規(guī)劃首先要加強(qiáng)對(duì)設(shè)計(jì)單位設(shè)計(jì)凈化工程圖紙質(zhì)量的外部監(jiān)督與審查。充分發(fā)揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用，像工程質(zhì)監(jiān)站監(jiān)督施工質(zhì)量一樣，審查、監(jiān)督設(shè)計(jì)質(zhì)量。潔凈工程圖紙的質(zhì)量高低是關(guān)系到此潔凈工程的建造成本控制等一系列凈化工程重要控制目標(biāo)能否達(dá)成之物。制訂設(shè)計(jì)獎(jiǎng)懲制度。設(shè)計(jì)圖紙被審查中心確認(rèn)為設(shè)計(jì)的應(yīng)給設(shè)計(jì)單位以特殊榮譽(yù)，對(duì)設(shè)計(jì)人員實(shí)施獎(jiǎng)勵(lì)。潔凈工程圖紙的質(zhì)量高低是關(guān)系到此潔凈工程的建造成本控制等一系列凈化工程重要控制目標(biāo)能否達(dá)成之物。

減少系統(tǒng)送風(fēng)量：潔凈室內(nèi)的送風(fēng)量較之一般恒溫恒濕空調(diào)房間內(nèi)的送風(fēng)量大很多，設(shè)法減少系統(tǒng)的送風(fēng)速度，可有效地節(jié)省處理空氣所耗用的能量，達(dá)到節(jié)能運(yùn)行的目的；冷水盤管一般為下進(jìn)上出，蒸汽盤管一般為上進(jìn)下出，按標(biāo)識(shí)接管，以避免接管錯(cuò)誤。在滿足工藝條件的前提下，將室內(nèi)橫斷面平均風(fēng)速降低20%，此時(shí)房間的送風(fēng)量大約可減少20%左右，這樣不僅減少了空氣處理所消耗的能量，而且也減少了輸送設(shè)備風(fēng)機(jī)運(yùn)行的耗電量。

1、潔凈廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的彩鋼板;

2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高等耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型;

3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板;

4、送風(fēng)口宜用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔工業(yè)潔凈室：按照美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)，潔凈室意味著：“房間里空氣的塵埃粒子數(shù)以及必要時(shí)其溫度，濕度、壓力都可以被控制”凈化房的主要目的是控制灰塵。