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1、油霧濾清器（油霧分離器,排氣過(guò)濾器,排氣濾芯).濾材制成，壓差為0.3bar,殘油量為1-3ppm,耐靜電防腐蝕。

進(jìn)口真空泵油霧分離器在推動(dòng)力的作用下，位于一側(cè)的油氣混合物中的通過(guò)真空泵油霧分離器的濾紙及棉質(zhì)。油則被截留，從而實(shí)現(xiàn)氣體與真空油的分離操作過(guò)程。被過(guò)濾掉的真空泵油隨著回油管進(jìn)行循環(huán)利用，排出的則是無(wú)油的廢氣，而達(dá)到無(wú)污染，潔凈的效果。

2、空氣過(guò)濾器（空氣濾芯）：容灰量高,過(guò)濾效果佳,能耗低。

進(jìn)口真空泵的滑動(dòng)的空隙很小，外來(lái)的介質(zhì)含顆粒、污垢，會(huì)破壞滑動(dòng)面，豁附或阻塞泵的滑動(dòng)面，造成泵不能正常工作。為了防止外來(lái)物被入泵中，需要使用過(guò)濾器來(lái)阻擋其進(jìn)入泵中。萬(wàn)一有空氣雜質(zhì)沒(méi)有過(guò)濾清掉，進(jìn)入泵浦內(nèi)，可能導(dǎo)致油管堵塞,潤(rùn)滑油變混，所以選擇空氣濾芯，必須要選擇進(jìn)口的。

2、疲勞破斷

疲勞是一種失效機(jī)理，產(chǎn)生裂紋是一種失效模式。它們常常后導(dǎo)致零件的破斷。這種疲勞破斷失效過(guò)程一般都存在于受交變負(fù)荷的輪齒件中。常見(jiàn)于聯(lián)接螺栓、地腳螺栓、彈簧等零件，也會(huì)發(fā)生齒輪傳動(dòng)軸等重要零件中。疲勞破斷所牽涉的因素很多，需要針對(duì)失效零件作具體分析，找出原因采取對(duì)策。

3、變形

變形也是真空泵零件常見(jiàn)的一種失效模式。由于泵浦在高速運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生一定的高溫。諸如殼體、板件等常處于受熱狀態(tài)，易發(fā)生。逐步產(chǎn)生的塑性變形，不能恢復(fù)零部件原有的幾何尺寸與形狀，嚴(yán)重時(shí)將造成設(shè)備故障。如密封圈，油封等。

1、直線a:為平行于橫坐標(biāo)的直線，壓強(qiáng)隨時(shí)間的延長(zhǎng)不變，表示容器既不漏氣也不放氣，真空度上不去是由于泵的工作情況不良所致。

2、曲線b:壓始上升較快，而后上升速度減慢，后趨于平衡。表示容器沒(méi)有漏氣而是爐襯材料放氣。

3、曲線c:壓強(qiáng)隨時(shí)間的延長(zhǎng)成線性增長(zhǎng)，表示容器漏氣而爐襯材料不放氣。

4、曲線d:壓始上升較快，隨后減慢，后形成斜率為ΔP/ΔT的直線，說(shuō)明容器既有漏氣又有放氣。

管道積水水環(huán)真空泵與蒸汽凝氣器相連通。一方面，水環(huán)真空泵在運(yùn)行過(guò)程當(dāng)中，很容易因水汽分離設(shè)備存在工作漏洞，造成管道內(nèi)產(chǎn)生水汽積流；另一方面，待水環(huán)真空泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，由于水汽凝結(jié)，也會(huì)形成積水。隨著積水次數(shù)增多，會(huì)造成水倒流回真空泵內(nèi)，短時(shí)間內(nèi)形成較大電壓，容易燒毀電機(jī)。

為了避免出現(xiàn)這種危害，應(yīng)該定時(shí)對(duì)水環(huán)真空泵的使用情況進(jìn)行檢查，重點(diǎn)檢查進(jìn)出氣管道中是否存在積水，如果發(fā)現(xiàn)，要及時(shí)清理。

為了防患于未然，還要改造水環(huán)真空泵的水氣分離器，可以采用具有更高耐磨性和耐腐蝕性的鋼材，或者加粗水氣分離器管筒的直徑，使水氣分離能夠在足夠的空間內(nèi)進(jìn)行，從而使水蒸氣積流大大減少，避免積水故障。