大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

測(cè)量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來發(fā)送信號(hào)，但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準(zhǔn)的工藝控制，有必要測(cè)量這些膜厚度。



 

硬涂層膜厚度的測(cè)量[FE-0004]

近年來，使用具有各種功能的高i性能薄膜的產(chǎn)品被廣泛使用，并且根據(jù)應(yīng)用不同，還需要提供具有諸如摩擦阻力，抗沖擊性，耐熱性，薄膜表面的耐化學(xué)性等性能的保護(hù)薄膜。通常保護(hù)膜層是使用形成的硬涂層（HC）膜，但是根據(jù)HC膜的厚度不同，可能出現(xiàn)不起保護(hù)膜的作用，膜中發(fā)生翹曲，或者外觀不均勻和變形等不良。 因此，管理HC層的膜厚值很有必要。

膜厚測(cè)試儀的預(yù)熱 　　關(guān)機(jī)超過3個(gè)小時(shí)開機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”，將波譜校準(zhǔn)片放入儀器，將Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，設(shè)定測(cè)量時(shí)間為6S重復(fù)測(cè)量次數(shù)為30~50次,點(diǎn)擊Go鍵，等待自動(dòng)連續(xù)測(cè)量完成。

　膜厚儀在電氣安全方面按照要求正常使用儀器，就不會(huì)對(duì)人造成任何危險(xiǎn)或損害。膜厚儀包含傳導(dǎo)線電壓的元件，它是按照準(zhǔn)則的安全條款設(shè)計(jì)的。必須遵循儀器安全條款和準(zhǔn)則有關(guān)儀器操作的規(guī)定！　　電源連接為避免損壞儀器,供電電壓必須與膜厚儀銘牌上的電壓一致。儀器必須使用三相插頭連到一個(gè)已接地的插座上。