特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣應(yīng)用

高純氯1氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導(dǎo)體行業(yè)，被用作蝕刻氣體和脫水劑，而其中光纖行業(yè)用量較大。光纖1主要參數(shù)是損耗，無論是石英光纖還是浮化玻璃光纖中的損耗，主要是由OH-陰離子、過渡金屬離子和稀土金屬離子引起的。因?yàn)楣馍⑸?、光吸收主要是由OH-產(chǎn)生的，所以必須脫除光纖中的OH-離子。為了降低損耗，處需要光纖制造系統(tǒng)精良和所有原材料純度高外，其關(guān)鍵是在制造光纖工藝中通入高純氯1氣，有效除去OH-離子。因此，高純氯1氣是生產(chǎn)光纖不可或缺的原材料。3、對于劇1毒管道及設(shè)計(jì)壓力P≥10Mpa管道，壓力試驗(yàn)前應(yīng)按規(guī)范要求將各項(xiàng)資料經(jīng)設(shè)計(jì)單位復(fù)查，確認(rèn)無誤。

特種氣體的介紹

特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。

特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。同時(shí)，以上分類存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時(shí)在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。依照施漏氣體辦法的不同，又能夠?qū)⒄婵辗ǚ譃檎婵諊姶捣ê驼婵蘸ふ址ā?

特種氣體在進(jìn)樣中的注意事項(xiàng)

樣品氣的置換，由于特種氣都要經(jīng)過減壓器和管線后才能取樣，要準(zhǔn)確取樣必須將減壓器和管線進(jìn)行充分的置換，這種置換不是簡單意義上的吹掃。因?yàn)闇p壓器的死體積很大，不斷將鋼瓶閥打開關(guān)閉反復(fù)3次以上，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。進(jìn)樣管線的氣密性，進(jìn)樣管線的泄漏，對樣品的數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性有很大影響，對低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴(yán)格檢查取樣管線的氣密性。但是當(dāng)溫度高到足以使藥1物發(fā)揮最1大作用時(shí)，在升高溫度，則殺菌效果亦不再提高。