電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場需求半導(dǎo)體材料，電子氣體2016年的國內(nèi)市場需求為48.02億，占比14%。電子特種氣體中高產(chǎn)品被國外壟斷，該領(lǐng)域主要生產(chǎn)廠家有美國氣體化工、美國普萊克斯、日本昭和電工、德國林德集團(tuán)、法國液化空氣、日本酸素，合計市場占有率達(dá)85%。據(jù)全球半導(dǎo)體協(xié)會統(tǒng)計，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣80多種。據(jù)業(yè)內(nèi)不完全數(shù)據(jù)統(tǒng)計，從2012年至2016年，國內(nèi)電子氣體企業(yè)實際生產(chǎn)銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%，雖然國內(nèi)電子氣體占比有了大幅的提升，但其生產(chǎn)總量仍然無法滿足國內(nèi)市場需求，電子特種氣體品種及產(chǎn)量亟待提升。

在整個行業(yè)供應(yīng)鏈中，氣體原料、裝置、運(yùn)輸和客戶十分重要，是氣體供應(yīng)商的利潤來源。如今氣體產(chǎn)品種類繁多，客戶對氣體產(chǎn)品存在多元化需求，往往在某一終端產(chǎn)品的制造中所需氣體種類達(dá)幾十種以上，出于成本控制、倉儲管理、供應(yīng)穩(wěn)定等多方考量，客戶更愿意在一家氣體公司采購，因此希望氣體公司覆蓋更多的氣體種類；此外，下游的行業(yè)產(chǎn)品精細(xì)化程度不斷提高，客戶所需的產(chǎn)品定制化特點(diǎn)明顯，并希望供應(yīng)商提供氣體運(yùn)輸以及裝置處理、檢修、潔凈、維護(hù)等服務(wù)，故而對氣體公司提出了技術(shù)性、專業(yè)性、綜合性的更高要求。

標(biāo)準(zhǔn)氣體可燃?xì)怏w的處理

（1） 可燃?xì)怏w的排放，如果排放量較大，應(yīng)選擇盡可能人少的地方，注意周圍禁止明火，并備有相應(yīng)的滅火器、砂子和水；

（2） 排放鋼瓶中的可燃?xì)怏w，工作人員應(yīng)站在出氣口的側(cè)面進(jìn)行操作，以防氣體噴出傷人；

（3） 采用燃燒法處理時，應(yīng)安裝減壓閥門，控制可燃?xì)怏w的速度，盡量使氣體慢慢放出，使之在燃燒裝置內(nèi)充分燃燒掉。

標(biāo)準(zhǔn)氣體惰性氣體的處理

惰性氣體雖然沒有危險性，但大量的惰性氣體集聚，會使周圍氧含量減少，而使人窒息。

1） 在室外適當(dāng)?shù)牡胤脚欧牛?

（2） 若鋼瓶或儀器在室內(nèi)，可接上排氣導(dǎo)管，使其引到室外緩慢排放。

三種制取氮?dú)獾姆椒?/p>

1、深冷空分制氮，即把壓縮空氣液化，通入分餾塔，然后利用氧氣、氮?dú)?/strong>的沸點(diǎn)不同，分離出氮?dú)猓兌然竟潭ㄔ?9.9995%）和富氧（35％的氧氣＋氮?dú)猓Ｉ罾浞蛛x是成熟的工藝，一般適合于大型空分，且由于啟動時間在2個小時以上，啟動成本高，所以對用氣連續(xù)性要求很高。適合大型用氮，純度要求高，用氣連續(xù)波動少的用戶。