真空滲氮是使用真空爐對(duì)鋼鐵零件進(jìn)行整體加熱、充入少量氣體，在低壓狀態(tài)下產(chǎn)生活性氮原子滲入并向鋼中擴(kuò)散而實(shí)現(xiàn)硬化的；而離子滲氮是靠暉光放電產(chǎn)生的活性N離子轟擊并僅加熱鋼鐵零件表面，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成核化物實(shí)現(xiàn)硬化的。

真空滲氮時(shí)，將真空爐排氣至較高真空度0.133Pa（1×10-3Torr）后，將工件升至，530～560℃，同時(shí)送入氨氣或NH3 CXHY N2O復(fù)合氣體，并對(duì)各種氣體的送入量進(jìn)行控制，爐壓控制在0.667Pa（5Torr），低壓狀態(tài)能加快工件表面的氣體交換,活躍的N元素(或N,C)來自化學(xué)反應(yīng)及NH3(或在處理溫度500-570℃NH3和CXHY的裂解),保溫3～5h后，用爐內(nèi)惰性氣體進(jìn)行快速冷卻。不同的材質(zhì)，經(jīng)此處理后可得到滲層深為20～80μm、硬度為600～1500HV的硬化層。

1.形狀比較復(fù)雜的模具，在粗加工以后即進(jìn)行熱處理，然后進(jìn)行精加工，才能保證熱處理時(shí)變形量小，對(duì)于精密模具，變形應(yīng)小于0.05%。

2.塑料模型腔表面要求十分嚴(yán)格，因此在淬火加熱過程中要確保型腔表面不氧化、不脫碳、不侵蝕、不過熱等。應(yīng)在保護(hù)氣氛爐中或在嚴(yán)格脫氧后的鹽浴爐中加熱，若采用普通箱式電阻爐加熱，應(yīng)在模腔面上涂保護(hù)劑，同時(shí)要控制加熱速度，冷卻時(shí)應(yīng)選擇比較緩和的冷卻介質(zhì)，控制冷卻速度，以避免在淬火過程中產(chǎn)生變形、開裂而報(bào)廢。一般以熱浴淬火為佳，也可采用預(yù)冷淬火的方式。

3.淬火后應(yīng)及時(shí)回火，回火溫度要高于模具的工作溫度，回火時(shí)間應(yīng)充分，長(zhǎng)短視模具材料和斷面尺寸而定，但至少要在40～60min以上。

降溫出爐階段：

6、井式爐無論滲碳后緩冷還是直接淬火，出爐溫度均按爐子上區(qū)溫度控制儀表為準(zhǔn)。

7、直接淬火的零件可直接回火，軸桿狀零件可進(jìn)行熱矯直，回火前應(yīng)進(jìn)行清洗防銹。

8、零件出爐時(shí)，先關(guān)掉電源，停電扇打開排氣孔，關(guān)掉滴油器，再啟動(dòng)爐蓋。

9、零件出爐后，立即關(guān)好爐門，重復(fù)零件入爐前的操作，達(dá)到滲碳溫度，保溫一定時(shí)間，再進(jìn)第二爐工件。