氫氣檢漏法的工藝和方法

批量生產(chǎn)的用戶采用上述控制器進(jìn)行示蹤氣體的充注，達(dá)到收到壓力后控制器會給出提示，這時操作人員即可進(jìn)行檢漏操作，然后通過控制器把氣體排出。注意不可以直接將氣體排在檢漏位置，因為這樣會造成本底污染，使得后面的檢漏無法進(jìn)行。

工程安裝維護(hù)商可以采用手持式氮?dú)錂z漏儀(有帶氣瓶/表組的套裝產(chǎn)品供選擇)，在現(xiàn)場需要查找系統(tǒng)漏點(diǎn)時，先排空制冷劑，然后逐段充注5%氫 95%氮的示蹤氣體，用手持式氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行巡檢式查漏。由于氫氣比空氣輕，所以泄漏出來的氫氣都會沿著管道等部件往上跑，并且可以穿透保溫材料，使用者可以在部件較高位置進(jìn)行檢漏，比采用其他方式查找漏點(diǎn)要容易得多，成功率也高很多。3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

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氫氣檢漏法的優(yōu)勢

制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀：在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過程中，目前常使用氦檢漏技術(shù)來查找微小的泄漏，而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會使用鹵素檢漏儀對整個產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此長期以來，氦檢漏技術(shù)是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段，吸槍式氦檢漏技術(shù)一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來;所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板，對氦氣都會產(chǎn)生記憶效應(yīng)，即氦離子打到離子收集板上，并儲存一定時間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底的噪音等問題。

無論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測試應(yīng)用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價格非常低廉，很容易在各個氣體供應(yīng)商處購得?？苾x創(chuàng)新多年技術(shù)經(jīng)驗，為您解決后顧之憂，歡迎您撥打電話~~~?，F(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當(dāng)于0.1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備，如氦氣回收系統(tǒng)等。

真空設(shè)備檢漏

設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點(diǎn)，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運(yùn)動而進(jìn)行分離，在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。對工件充注干燥空氣/氮?dú)?-5Mpa，進(jìn)行大漏及耐壓檢測，通過該裝置判斷出被檢工件的大漏及耐壓試驗。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。

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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的，大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。真空設(shè)備檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。這個本底雖可通過置零來清除，但仍會降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。