復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①?gòu)椥詳U(kuò)充容易;②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

凈化廠房建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種

凈化廠房也叫無(wú)塵車間、潔凈室(Clean Room）、無(wú)塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

凈化廠房建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種，其中普遍采用裝配式。

裝配式凈化廠房系統(tǒng)主要由初，中，高三級(jí)空氣過(guò)濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和 排風(fēng)系統(tǒng)；動(dòng)力及照明系統(tǒng)；工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測(cè)報(bào)警消防和通訊系統(tǒng)；和物流系統(tǒng)；工藝管路系統(tǒng)；維護(hù)結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實(shí)施內(nèi)容組成，形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個(gè)設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。

灌裝清潔車間的操作流程

老版本對(duì)灌裝是B A;修定版本號(hào)提升百級(jí)；別的凈化地區(qū)規(guī)定十萬(wàn)級(jí)。依據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》車間的墻面和裝修吊頂務(wù)必選用不產(chǎn)塵、不積塵表層光滑的原材料工程施工，而且不可以在車間中存有盲區(qū)。選用凈化工業(yè)廠房工程施工型彩鋼板，基鋼板現(xiàn)澆板選用鞍鋼0.4的厚鋼板，芯板相對(duì)密度做到14kg/m3,鋁型材選用型鋁合金型材，為提升 凈化間的使用期限，并做到別具一格的實(shí)際效果，全部鋁合金型材開(kāi)展電泳原理解決。

灌裝清潔車間的操作流程：1、開(kāi)啟送風(fēng)機(jī)電源總開(kāi)關(guān)。2、開(kāi)離心風(fēng)機(jī)后，留意離心風(fēng)機(jī)空調(diào)運(yùn)行是不是一切正常。3、開(kāi)機(jī)后觀查清潔車間內(nèi)的壓差計(jì)與戶外是不是維持高于或等于10Pa正壓力排風(fēng)量。4、啟動(dòng)三十分鐘后，灌裝清潔車間可開(kāi)展一切正常工作中。5、清潔車間停止運(yùn)行前，工作員務(wù)必搞好清理工作中，工作人員下班了時(shí)關(guān)好全部門(mén)及貨運(yùn)物流安全通道口，另外開(kāi)啟紫外線消毒燈20-三十分鐘上下。6、關(guān)掉送風(fēng)機(jī)電源總開(kāi)關(guān)。7、實(shí)際操作工作人員查驗(yàn)全部電源總開(kāi)關(guān)是不是所有關(guān)掉。

百級(jí)凈化車間規(guī)范及關(guān)鍵

百級(jí)凈化車間規(guī)范：高于或等于0.5μm的細(xì)顆粒物數(shù)超過(guò)350粒/m3（0.35粒/L）到不大于3500粒/m3（3.5粒/L）；高于或等于5μm的細(xì)顆粒物數(shù)為0。由于潔凈凈化室的工作內(nèi)容大多數(shù)有細(xì)致的規(guī)定，而且又全是密封性房屋，因此 ，對(duì)照明燈具一向有很高的規(guī)定。關(guān)鍵有以下幾個(gè)方面：1.一部分照明燈具：它是指為加上某一特定詳細(xì)地址的光照強(qiáng)度而設(shè)定的照明燈具。但在室內(nèi)采光中一般不獨(dú)自一人應(yīng)用一部分照明燈具。2.混和照明燈具：指工作表面的光照強(qiáng)度由一般照明和一部分照明燈具構(gòu)成照明燈具，期間，一般照明的光照強(qiáng)度應(yīng)占總光照強(qiáng)度的10%-15%。

百級(jí)凈化車間的氣旋方式是層.流方式，氣體以勻稱的橫斷面速率沿平行面流線型主題活動(dòng)，與流體動(dòng)力學(xué)的層.流定義不太同樣，實(shí)際講便是挺直層.流側(cè)送風(fēng)。和百級(jí)之上凈化車間所采用的混流式或漩渦方式（即氣體以不勻稱的速率呈不平行面流線型主題活動(dòng)）相較為，它具備功效、工作舒經(jīng)穩(wěn)定、積累與再懸浮非常少，及其解決簡(jiǎn)單等權(quán)益，可是機(jī)器設(shè)備工程造價(jià)十分高，維護(hù)費(fèi)也很高。