復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車(chē)間：將潔凈車(chē)間等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈車(chē)間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①?gòu)椥詳U(kuò)充容易;②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

建設(shè)凈化車(chē)間需要哪些材料和設(shè)備

對(duì)于一些行業(yè)來(lái)講，建設(shè)凈化車(chē)間是必須的，因?yàn)樗麄兩a(chǎn)的產(chǎn)品其合格標(biāo)準(zhǔn)要求非常高。具體有哪些行業(yè)呢？比如消毒用品廠、保健用品廠、食品廠、化妝品 廠等等均對(duì)要求標(biāo)準(zhǔn)非常高。

關(guān)于建設(shè)凈化車(chē)間，有一點(diǎn)你是務(wù)必要清楚了解的，那就是建設(shè)凈化車(chē)間需要哪些材料和設(shè)備，如果你對(duì)這方面還不清楚的話(huà)，下面由思卡恩給大家分析整理一下建設(shè)凈化車(chē)間都需要哪些材料和設(shè)備。

建設(shè)凈化車(chē)間需要以下材料和設(shè)備：

1、所需材料如下：

彩鋼夾芯板、潔凈密閉門(mén)、潔凈密閉窗、潔凈照明燈具、環(huán)氧地坪或耐磨塑料地板、重型龍骨吊頂、PVC水管、螺旋風(fēng)管、防水石膏板、鋁材以及電線電纜等等。（具體事例具體分析，并不是建每一個(gè)廠都需要這些材料的哦）

2、所需設(shè)備如下：

風(fēng)淋室、傳遞窗、超凈工作臺(tái)、FFU過(guò)濾風(fēng)機(jī)、空氣過(guò)濾器、層流罩、送風(fēng)口、新風(fēng)系統(tǒng)、潔凈空調(diào)系統(tǒng)、純水設(shè)備、恒溫恒濕機(jī)、袋式除塵設(shè)備以及過(guò)濾器等等。

凈化車(chē)間的風(fēng)量因?yàn)楣ぷ魅藛T比較多,可以根據(jù)下列標(biāo)值應(yīng)取以下的

凈化車(chē)間的風(fēng)量因?yàn)楣ぷ魅藛T比較多，可以根據(jù)下列標(biāo)值應(yīng)取以下的高值：非單邊流凈化室總送風(fēng)量的10-30%;賠償房間內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)和堅(jiān)持不懈房間內(nèi)正壓力值所需的清新空氣量;保證 房間內(nèi)每個(gè)人每鐘頭的清新空氣量≥40m3/h。充足的風(fēng)力與風(fēng)量是潔凈度等級(jí)的確保，大的風(fēng)力與風(fēng)量不但消耗動(dòng)能，并且有時(shí)候會(huì)危害一切正常的工作中。一切正常的標(biāo)準(zhǔn)氣壓是一切正常工作中的基本上標(biāo)準(zhǔn)。必需的壓力差是操縱漏汽方位的方式。微電子技術(shù)領(lǐng)域的凈化車(chē)間為了更好地確保潔凈度等級(jí)，不允許低潔凈度等級(jí)的氣體向高潔凈度等級(jí)地區(qū)泄瀾。病毒實(shí)驗(yàn)室或房不允許室內(nèi)空氣質(zhì)量向戶(hù)外泄露。達(dá)到質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的新風(fēng)量：保證供給清潔房間內(nèi)每個(gè)人每鐘頭的清新空氣量不小于40m3/h,另外考慮到有害物質(zhì)產(chǎn)生的狀況。針對(duì)生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)存有的有害物質(zhì)產(chǎn)生的狀況，應(yīng)當(dāng)依據(jù)生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)所含有害物質(zhì)的濃度值來(lái)測(cè)算稀釋液房間內(nèi)危害氣俸的新風(fēng)量。

凈化車(chē)間排風(fēng)系統(tǒng)是生產(chǎn)線中一個(gè)十分關(guān)鍵的系統(tǒng)

凈化車(chē)間排風(fēng)系統(tǒng)是生產(chǎn)線中一個(gè)十分關(guān)鍵的系統(tǒng)。凈化車(chē)間方案設(shè)計(jì)中的排氣管系統(tǒng)有益于凈化車(chē)間的清潔液和工業(yè)廢氣的排出。它能夠迅速地將實(shí)驗(yàn)站地挪走，確保凈化車(chē)間自始至終保持干凈。排汽管的生產(chǎn)制造應(yīng)合乎以下規(guī)定：通風(fēng)管道的性危害密封墊片原材料和固定不動(dòng)原料應(yīng)阻燃性。通風(fēng)風(fēng)管常用的地腳螺絲、螺帽、密封環(huán)和地腳螺栓應(yīng)選用合乎管材特點(diǎn)、不容易造成電化學(xué)腐蝕的原料，或選用熱鍍鋅等防腐蝕對(duì)策；3鍍鋅鋼板不可因熱鍍鋅而比較嚴(yán)重毀壞鍍層，如表層有很多廢棄物，鍍層層次等。地腳螺絲與風(fēng)管法蘭地腳螺栓孔的間隔不可超出100毫米；矩形框架構(gòu)風(fēng)管法蘭的四角應(yīng)設(shè)定螺孔。

1、凈化車(chē)間的一般排風(fēng)系統(tǒng)：生產(chǎn)制造輔助專(zhuān)室、日常生活用的室等排出來(lái)的一般有機(jī)廢氣，一般不用解決立即就排進(jìn)了空氣。

2、有機(jī)化學(xué)的汽體排風(fēng)系統(tǒng)：在生產(chǎn)過(guò)程中應(yīng)用各種有機(jī)化學(xué)化學(xué)物質(zhì)做為原料采購(gòu)時(shí)，可能在有關(guān)的場(chǎng)地或機(jī)器設(shè)備處釋放有機(jī)化學(xué)化學(xué)物質(zhì)的汽體，針對(duì)這種的場(chǎng)地或機(jī)器設(shè)備均應(yīng)設(shè)定排風(fēng)設(shè)備。凈化車(chē)間排風(fēng)系統(tǒng)當(dāng)中的有機(jī)廢氣要開(kāi)展相對(duì)的解決，再排進(jìn)空氣。

3、凈化車(chē)間總排風(fēng)系統(tǒng)：生產(chǎn)加工輔助用地和日常日常生活用地排出的一般工業(yè)廢氣，一般在未解決困難的狀況下馬上排進(jìn)空氣。分析化學(xué)品排汽系統(tǒng)：在生產(chǎn)過(guò)程中，當(dāng)以各種各樣分析化學(xué)化學(xué)物質(zhì)為原材料時(shí)，分析化學(xué)化學(xué)物質(zhì)的蒸氣很有可能會(huì)在有關(guān)場(chǎng)地或工業(yè)設(shè)備上釋放出。該類(lèi)場(chǎng)地或工業(yè)設(shè)備應(yīng)設(shè)定排氣管機(jī)器設(shè)備。凈化車(chē)間排風(fēng)系統(tǒng)中的工業(yè)廢氣在排進(jìn)空氣前要開(kāi)展相對(duì)的解決。

4、汽體排氣管系統(tǒng)：針對(duì)造成汽體（歸屬于物品或有害乃至有毒或有腐蝕的汽體）要避免 排氣管系統(tǒng)中造成化學(xué)變化，要區(qū)劃排氣管系統(tǒng)，凈化車(chē)間采用型的有機(jī)廢氣處理設(shè)備，做到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)后排進(jìn)空氣。

5、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)：在商品生產(chǎn)制造里時(shí)有酸性氣體排出來(lái)，在凈化車(chē)間排風(fēng)系統(tǒng)一般 設(shè)定濕試洗氣脫硫塔，解決后排進(jìn)空氣。