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發(fā)布時(shí)間:2020-12-07 15:54  






Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似,而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低,還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖,進(jìn)行再金屬化,因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料,而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用,經(jīng)Parylene涂敷過(guò)的集成電路芯片,其25um細(xì)直徑連接線,連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒(méi)有,5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓,又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料,化學(xué)惰性和阻隔性能也好,因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中,除了作電介質(zhì)材料外,還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門(mén)的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。


Parylene氣相沉積涂敷工藝

  在微電子領(lǐng)域,近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快,真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層,而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外,在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene,更被國(guó)外集成電路研究者所青睞,用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。      Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí),在工作上有很強(qiáng)的滲透性,能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中,真正形成完全敷形,均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒(méi)有溶劑、助劑,即使在0.1微米厚也沒(méi)有,氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜,沒(méi)有通常涂層的固化過(guò)程和固化引起的收縮應(yīng)力,對(duì)工件能進(jìn)行表面加固,但不會(huì)引起傷害,也沒(méi)有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。


派瑞林材料核心的優(yōu)勢(shì)是什么?

那還得從機(jī)理來(lái)說(shuō),派瑞林有機(jī)涂層是通過(guò)活性單體氣相沉積聚合制備的,單體的氣相沉積與涂層的形成是同時(shí)進(jìn)行,沒(méi)有中間的液體過(guò)渡態(tài)。因此,正如其開(kāi)發(fā)公司美國(guó)Union Carbide Co.宣傳的一般,派瑞林涂層擁有0.1-100微米的超薄均勻的涂覆能力和有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性,是當(dāng)代有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。


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