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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良,并有完善的質量管理體系,可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。
水環(huán)真空泵的排出側必需裝設閥門(球閥或截止閥等)和逆止閥。閥門用來調理泵的工況點,逆止閥在液體倒流時可避免泵反轉,并使泵防止水錘的打擊。
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在水環(huán)真空泵時,氦透過玻璃的滲透可達10-13升/秒。氫在300~400℃時可透過鐵,450℃時可滲過鎳,600℃時可滲透過玻璃,約640℃時還可透過銅。擴散系數(shù)。通過單位面積的質量流率的同該單位面積的法向濃度梯度之比。擴散己廣泛應用于擴散泵和表面物理等實用技術中。
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有效稀釋有害氣體的濃度:
半導體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質,在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍?! ?/span>
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真空泵所吸的氣體溫度較高,用自來水做循環(huán)水,或用冷凝器給氣體降溫.注意:真空泵必須安裝過載保護器,防止過載燒毀電機.連接管路不能變細70%.管路過細,排水不暢也會造成電機發(fā)熱超電流。
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