凈化工程氣壓規(guī)定：

　　對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室)，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風(fēng)速的可行性。在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s水平平行流(層流)潔凈室≥0.35m/s

　　凈化工程解決方案：各種不同的加濕器的應(yīng)用范圍不同：如：淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器，其特點(diǎn)是加濕量大、投資費(fèi)用低，而相對濕度控制精度較差，因此多用于相對濕度要求不嚴(yán)格(>±10%)，加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴(yán)格的恒溫恒濕潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。

　　凈化工程解決方案：對于以微生物為控制對象的生物潔凈室(例如：生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)無菌動物飼養(yǎng)室等)其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播，因?yàn)槌睗窈退质俏⑸镒躺头敝车臈l件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。

凈化工程中空氣凈化處理方案：

　　凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高1效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高1效空氣過濾器代高1效空氣過濾器。

　　空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合：初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高1效空氣過濾器或亞高1效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，高1效空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡便可靠，宜檢漏和更換;中效、亞高1效、高1效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高1效空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。