潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風(fēng)口到回風(fēng)口）之間氣流的流通截面是變化的，

潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是：突變流；非均勻流。

單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。

在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。是典型的垂直流潔凈室的剖面圖。從圖中可以看出，由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個空氣活塞，向下流經(jīng)室內(nèi)，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環(huán)至過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉，而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前面提到的低得多的風(fēng)速，就可以很快將污染物清除。

潔凈室檢測之靜電檢測與驗收

測試目的  

靜電問題不是只有半導(dǎo)體業(yè)才有，其它行業(yè)也有類似問題。微小物質(zhì)上若是含有靜電，就會變成非常難處理的問題，因為傳輸變的很不容易。另外在無塵室里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。靜電測試的目地是測量空氣中正離子與負(fù)離子的含量，依此數(shù)據(jù)可仿1真物體在該氣流場中之殘余表面電壓。  

1.于無塵室內(nèi)離地 32 英吋 (813 mm) 處，測量該位置之空氣中正離子與負(fù)離子的含量，單位是每立方厘米離子數(shù)。測量點數(shù)： 10 個，或由業(yè)主自己決定。在同一位置做殘余電壓測試。  

1、天棚和墻、柱面裝飾工程在完成后應(yīng)按電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10694規(guī)定方法和下列項目進行性能檢測：

A.天棚和墻、柱面裝飾的罩面板必須選用靜電耗散材料制成，罩面板的表面電阻值應(yīng)為1.0×105～1.0×1010Ω，一級標(biāo)準(zhǔn)的上限應(yīng)小于1.0×108Ω，二級標(biāo)準(zhǔn)的上限應(yīng)小于1.0×109Ω。一般抹灰墻面或罩面板使用非靜電耗散材料制成，其表面必須涂刷防靜電涂層，涂層材料應(yīng)符合靜電耗散材料性能標(biāo)準(zhǔn)。