愛(ài)德華E2M80真空泵維修的（6）個(gè)流程

1.確認(rèn)問(wèn)題（如有需要，會(huì)在24小時(shí)內(nèi)排出專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)愛(ài)德華真空泵故障）

2、取泵維修（在故障確認(rèn)后精捷會(huì)給出具體維修周期、維修方案和可達(dá)到的效果并上門(mén)取泵）                                        

3、拆開(kāi)報(bào)價(jià)（為了讓客戶(hù)更清晰的知道維修費(fèi)用，明勝把維修費(fèi)用細(xì)分化、合理化            

4、確認(rèn)維修（客戶(hù)同意維修費(fèi)用后開(kāi)始維修，維修時(shí)刻現(xiàn)場(chǎng)觀摩，維修后所換配件原封不動(dòng)送還客戶(hù)                                        

5、試機(jī)確認(rèn)（確保維修過(guò)后達(dá)到真空度和穩(wěn)定性能，真空度達(dá)到出廠標(biāo)準(zhǔn)）                  

6、送泵安裝（在試機(jī)OK后24小時(shí)內(nèi)，客戶(hù)可當(dāng)初驗(yàn)收真空泵，看試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)效果）                     

7、定期維護(hù)（保修3個(gè)月內(nèi)會(huì)不定期的回訪，3個(gè)月后會(huì)有專(zhuān)門(mén)的售后人員跟蹤維護(hù)）

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M(mǎn)足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來(lái)優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。單一供應(yīng)商：廣泛的產(chǎn)品組合齊聚一堂基于技術(shù)的解決方案：從UHV（超高真空）到大氣壓安心：經(jīng)驗(yàn)豐富，可幫助您選擇解決方案。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤(rùn)式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長(zhǎng)。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長(zhǎng)維修間隔。雙位氣鎮(zhèn)與回油附件和油霧過(guò)濾器結(jié)合使用，可持續(xù)抽排而不減少潤(rùn)滑。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開(kāi)發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于確保系統(tǒng)的精密性 和長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長(zhǎng) 維修間隔。動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。目前開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品通過(guò)將控制器集成到 泵本身中來(lái)降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。