專業(yè)維修愛德華真空泵 E2M80真空泵維修保養(yǎng)

供應(yīng)Edward愛德華EM 系列（大型油封式真空泵）維修保養(yǎng)，主要型號：E2M18,  E2M28,  E2M30, E2M40,  E2M80, E2M175， E2M275，同時提供愛德華真空泵維修包，保養(yǎng)配件，進口愛德華真空泵油，免費提供后期保養(yǎng)技術(shù)支持，品質(zhì)保證，希望廣大的客戶朋友可以在茫茫互聯(lián)網(wǎng)中找到一家技術(shù)成熟，性價比又高的愛德華真空泵維修廠家、、、、

承諾：

1：凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用過程中導(dǎo)致貴司的真空泵故障和異常，我司將免費負責處理和維修，并免費提供機器給客戶備用，以確?？蛻粽Ｉa(chǎn)。

2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用過程中，在保用期內(nèi)出現(xiàn)任何質(zhì)量問題我司將對其免費更換。

3：在未涉及到真空設(shè)備組裝、加工核心技術(shù)的前提下，其它日常保養(yǎng)及維修，我司免費提供技術(shù)支持。

4：珠三角范圍客戶我司承諾24小時內(nèi)派出技術(shù)人員到達客戶公司及時處理真空設(shè)備故障，東莞范圍客戶8小時到達。

E2M80真空泵維修保養(yǎng)覆蓋地區(qū)：全國各地，珠三角地區(qū)可以上門提貨，如有特殊需要可以提供現(xiàn)場維修。外地的一般是走物流，我司維修好后再郵寄回去。

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。適用于研發(fā)實驗室的實驗室真空系統(tǒng)我們提供豐富多樣的真空產(chǎn)品，以應(yīng)對當今研發(fā)實驗室所面臨的種種挑戰(zhàn)。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機構(gòu)。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。通過與各主要科學(xué)儀器制造商、大學(xué)院校和主要研究機構(gòu)的通力合作，我們能夠深入了解研究過程以及真空技術(shù)所發(fā)揮的作用。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確保可以 將泵溫度設(shè)置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設(shè)計 具有可選的溫度設(shè)定點和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)定點上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。