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LEYBOLD OPTICS CCS 系列(50 至 160 對(duì)/8 小時(shí))視客戶要求而定,可使用 LEYBOLD OPTICS CCS 系列鍍膜機(jī)生產(chǎn)一或若干層(減反射層、防曬或鏡面層以及濾光片)。其出色的生產(chǎn)能力得益于短抽真空時(shí)間以及準(zhǔn)確的工序監(jiān)控,這些尤為該平臺(tái)的亮點(diǎn)。各種類型的 LEYBOLD OPTICS CCS 鍍膜機(jī)證明了小尺寸和高生產(chǎn)力并非互為獨(dú)占的。LEYBOLD OPTTIC CCS 系列包括生產(chǎn)解決方案,適用于中等產(chǎn)量的標(biāo)準(zhǔn)和離子輔助鍍膜工藝。2技術(shù)參數(shù)表SV200SV30050Hz60Hz50Hz60Hz名義抽速m3。模塊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的解決方案
電子槍容量、低溫制冷系統(tǒng)的實(shí)施或腔室內(nèi)疏水性鍍膜功能相關(guān)的升級(jí)選件可在日后輕松添加至 LEYBOLD OPTICS CCS 的基本配置。因此,客戶可隨著其業(yè)務(wù)增長(zhǎng)而選擇擴(kuò)建其系統(tǒng)。適用于廣泛應(yīng)用的靈活系統(tǒng)
LEYBOLD OPTICS CCS 系列提供適用于每種需求選配組件陣列。有兩種不同的鏡片支架,自動(dòng)翻轉(zhuǎn)鏡片支架和適用于不同鏡片直徑的多種標(biāo)準(zhǔn)圓片,使其適用于廣泛的應(yīng)用。
經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的設(shè)計(jì),可進(jìn)行輕松維護(hù)所有 LEYBOLD OPTICS CCS 組件可輕松觸及,因此維護(hù)簡(jiǎn)單。作為所有布勒萊寶光學(xué)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn),每臺(tái)設(shè)備都可通過(guò)遠(yuǎn)程軟件工具訪問(wèn),輕松地實(shí)現(xiàn)離站分析和檢修活動(dòng)。無(wú)數(shù)參數(shù)的大量數(shù)據(jù)錄入助力客戶始終獲得鍍膜機(jī)狀況的新情況,并在需要時(shí)可共享信息。緊湊式平臺(tái)設(shè)計(jì)僅需最少的占地空間且包括強(qiáng)大的真空泵、大效率邁斯納冷阱和單或雙石英晶體監(jiān)視器以大程度提高性能。
LEYBOLD OPTICS CCS 平臺(tái)的圓柱形鍍膜腔室可促進(jìn)輕松維護(hù)和保護(hù)屏障的快速拆卸清洗,這又可提供增加設(shè)備運(yùn)行時(shí)間的優(yōu)勢(shì)。
真空泵維修說(shuō)明事項(xiàng),泵的極限壓力是在真空計(jì)(麥?zhǔn)险婵沼?jì))測(cè)得的分壓強(qiáng)值,如用熱偶真空計(jì)、電阻真空計(jì)等全壓強(qiáng)計(jì)測(cè),其真空值至少要低一個(gè)多數(shù)量級(jí)。泵抽除含氧過(guò)高、對(duì)金屬有腐蝕作用的、與真空泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣體或有機(jī)容劑等,請(qǐng)務(wù)必在被抽系統(tǒng)與真空泵之間串聯(lián)一相應(yīng)的過(guò)濾器或干燥劑,以確保真空泵正常使用。所以,如果油過(guò)濾器偶然完全堵塞,通過(guò)具有足夠油量的第二線路確保潤(rùn)滑,從而保證泵良好機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)。為確保真空儀器真空后的安全可靠,在真空泵與真空儀器之間必須裝置一閥門開(kāi)關(guān)(真空儀器本身帶有開(kāi)關(guān)的除外)
在密封狀態(tài)下工作,即整個(gè)系統(tǒng)處于密封狀態(tài),一但真空泵工作,系統(tǒng)內(nèi)的氣壓逐漸降低,從而達(dá)到真空。而真空泵泵腔內(nèi)的潤(rùn)滑是靠?jī)?nèi)部真空對(duì)外產(chǎn)生吸力,將真空泵油吸到泵腔里面,達(dá)到潤(rùn)滑目的。其二,在非密封狀態(tài)下工作,即整個(gè)系統(tǒng)處于漏氣狀態(tài),真空泵工作,系統(tǒng)內(nèi)的氣壓雖然降低,但不足以將真空泵油吸到泵腔里面潤(rùn)滑。因此,采用強(qiáng)制供油潤(rùn)滑前面所說(shuō)的“油泵”使用過(guò)程中,對(duì)真空泵而言,以“先開(kāi)后關(guān)”為原則,即在工作時(shí)先開(kāi)真空泵后打開(kāi)閥門開(kāi)關(guān),在結(jié)束工作前先關(guān)閉閥門開(kāi)關(guān)后再關(guān)閉真空。真空泵故障診斷也希望無(wú)需把正在運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵停下來(lái)拆開(kāi)而用各種方法取得有關(guān)數(shù)據(jù),診斷真空泵內(nèi)部的故障狀況,從而采取一定的維修措施,使真空泵長(zhǎng)周期、高效率運(yùn)轉(zhuǎn)。