原裝進(jìn)口愛(ài)德華真空泵油新品，全國(guó)包郵Edwards愛(ài)德華真空泵油，真空泵油可改善真空泵性能、耐

磨性和抗高溫性好，泵油使用后不容易乳化與積炭，從而延長(zhǎng)換油的時(shí)間間隔。品質(zhì)保證，歡迎購(gòu)

買。

愛(ài)德華真空泵油 / ultragrade70    包裝規(guī)格：1L, 4L，16L

愛(ài)德華真空泵油 / ultragrade 20    包裝規(guī)格：1L, 4L，16L

愛(ài)德華真空泵油  / ultragrade 19   包裝規(guī)格：1L, 4L，16L

愛(ài)德華真空泵油  / ultragrade 15   包裝規(guī)格：1L, 4L，16L

真空泵油注意事項(xiàng)：

1、真空泵油在密封條件下保質(zhì)期可以達(dá)到3-5年

2、新泵浦初次使用500小時(shí)后更換泵油，以后每工作1000-1500小時(shí)更換一次。(注：使用環(huán)境比較惡

劣要經(jīng)常觀察泵油顏色）

3、檢查油位鏡，當(dāng)泵油變成黃褐色轉(zhuǎn)入黑色或變成乳白色，需要更換真空泵油。

4、合理地選用真空泵油, 將會(huì)對(duì)泵的極限分壓力、極限全壓力、起動(dòng)、功率消耗、泵溫、泵性能的穩(wěn)

定性、真空泵的使用壽命都有好的幫助。

5、供應(yīng)進(jìn)口真空泵油，進(jìn)口真空泵，原廠真空泵配件，真空泵維修保養(yǎng)，真空系統(tǒng)定

做與設(shè)計(jì)。

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來(lái)選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長(zhǎng)我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長(zhǎng)您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。6l電源供給240V/380V/400V/415V220-240/380-415V50Hz3?380-400/400-415V60H。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來(lái)克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會(huì)產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。定期檢查電動(dòng)機(jī)電流值，不得超過(guò)電動(dòng)機(jī)額定電流泵長(zhǎng)期運(yùn)行后，由于機(jī)械磨損，使機(jī)組噪聲級(jí)振動(dòng)增大時(shí)，應(yīng)停機(jī)檢查，必要時(shí)可更換易損零件及軸承，機(jī)組大修期一般為一年。 對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時(shí)， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來(lái) 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對(duì)泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。制程還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài)都使用含氟的干燥清潔制程。對(duì)于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問(wèn)題， 同時(shí)不使腐蝕速度過(guò)高。

真空泵泵體振動(dòng)大的原因有哪些?

水環(huán)變化：若水環(huán)內(nèi)徑變大(供水不足所致)，則葉片頂端將與水環(huán)內(nèi)壁發(fā)生碰撞，產(chǎn)生振動(dòng)。若水環(huán)內(nèi)徑變小(供水過(guò)量所致)，其對(duì)葉輪的擾流及阻力損失增加，引發(fā)振動(dòng)，同時(shí)增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進(jìn)水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。iH干泵系列的峰值抽速?gòu)?0到1800立方米/小時(shí)，其中iH1800干泵是專為高排量應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。只憑進(jìn)水壓力不能準(zhǔn)確衡量進(jìn)水供應(yīng)情況，一般可通過(guò)觀察上海真空泵的排水量來(lái)判斷水環(huán)的工作情況。

在真空泵機(jī)組定期一切換過(guò)程中，多次發(fā)生過(guò)類似異常。在備用真空泵機(jī)組啟動(dòng)、原運(yùn)行泵停運(yùn)后。凝汽器真空便開(kāi)始緩慢下降，約15~30min后可下降5~6kPa，在此過(guò)程中，發(fā)現(xiàn)氣水分離器內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài)，這是一種異?，F(xiàn)象。相對(duì)系統(tǒng)油封真空泵系統(tǒng)，它具有價(jià)格低廉、性能優(yōu)良和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)，是一套清潔、耐用的抽氣系統(tǒng)。好凱德真空科技分析認(rèn)為，真空泵機(jī)組工作不正常，導(dǎo)致噴射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。