熱分解工藝一般分為直燃(TO)、蓄熱燃燒(RTO)、催化燃燒(CO)、蓄熱催化燃燒(RCO)4種，只是燃燒方式和換熱方式的兩兩不同組合，主要可以用于處理吸附濃縮氣，也可以用于直接處理廢氣濃度＞3.5g/m3的中高濃度廢氣。

1）TO是將高濃廢氣送入燃燒室直接燃燒(燃燒室內(nèi)一般有一股長明火)，廢氣中有機物在750℃以上燃燒生成CO2和水，高溫燃燒氣通過換熱器與新進廢氣間接換熱后排掉，換熱效率一般≤60%導(dǎo)致運行成本很高，只在少數(shù)能有效利用排放余熱或有副產(chǎn)燃氣的企業(yè)中應(yīng)用。而CO處理廢氣主流通道上無切換閥，加上可以采用讓廢氣流速較高粉塵不易結(jié)存、定期給整個系統(tǒng)升溫回火將粉塵剝離分解等方法，因此CO的預(yù)處理只需簡單過濾到G4級。

2）RTO的燃燒方式與TO相同，只是將換熱器改為蓄熱陶瓷，高溫燃燒氣與新進廢氣交替進入蓄熱陶瓷直接換熱，熱量利用率可提高到90%以上，理念先進，運行成本較低，是目前國家主推的廢氣治理工藝。

催化燃燒工作原理：

本裝置根據(jù)吸附（效率髙）和催化燃燒（節(jié)能）兩個基本原理設(shè)計，采用雙氣路連續(xù)工作，一個催化燃燒室，兩個吸附床交替使用。先將有機廢氣用活性炭吸附，當活性炭快達到飽和時停止吸附，然后用熱氣流將有機物從活性炭上脫附下來使活性炭再生；有機廢氣治理的方法當中催化燃燒工藝是比較常用的，它需要利用催化劑的策劃能力來降低廢氣當中有機物的活化能從而產(chǎn)生催化反應(yīng)，這樣一來就可以完成處理廢氣的過程。脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并送往催化燃燒室催化燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出。

催化燃燒的工作原理：

當有機廢氣的濃度達到2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自燃，不用外加熱。燃燒后的尾氣一部分排入大氣，大部分被送往吸附床，用于活性炭再生。這樣可滿足燃燒和吸附所需的熱能，達到節(jié)能的目的。再生后的可進入下次吸附；催化燃燒的工作原理：當有機廢氣的濃度達到2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自燃，不用外加熱。在脫附時，凈化操作可用另一個吸附床進行，既適合于連續(xù)操作，也適合于間斷操作。

用于三苯、酮、酯、醛、酚等各種工業(yè)排放的有機廢氣和異味惡臭氣體。其原理是通過催化氧化的方法將污染物徹底氧化為CO2和H2O。