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真空泵推開排氣閥排出大氣
裝有旋片的偏置轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動,東莞真空泵使由旋片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵,又稱旋片真空泵。旋片真空泵的工作原理。旋片真空泵主要由泵體(靜子)和轉(zhuǎn)子組成。在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的旋片,有些泵旋片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi),其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2~3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,在離心力等作用下,旋片沿槽作往復(fù)滑動并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時針方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內(nèi)氣體壓力降低,被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小,吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮,待氣體壓力高于大氣壓力時,推開排氣閥排出大氣。轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動,泵便不斷抽氣。 排氣閥浸在油里,油通過排氣閥和油孔進入泵腔,使泵腔內(nèi)所有運動件的表面覆蓋一層油膜,東莞真空泵密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙,防止氣體返流。這些油還能減少排氣腔內(nèi)的有害空間,以消除它們對極限壓力的影響。因此這種真空泵是一種油封式機械真空泵。隨著技術(shù)的發(fā)展、制造工藝的完善和優(yōu)質(zhì)材料的選用,小型旋片真空泵的轉(zhuǎn)軸可與電動機軸直聯(lián),轉(zhuǎn)速可高達1450轉(zhuǎn)/分,大大提高了泵的抽氣速率和減輕了泵的重量?! ⌒婵毡玫某樗俜秶鸀?.5~150升/秒(1升=10-3米3),工作壓力范圍一般為1×105~1帕,較大抽速的壓力范圍為1×105~13帕。極限壓力:單級泵為1帕,雙級泵為6.5×10-2帕。東莞真空泵旋片真空泵一般只適于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的氣體(對于后者須裝氣鎮(zhèn)閥),不適于抽除含氧過高、腐蝕性、對泵油起化學(xué)作用和含有固體顆粒的氣體。在真空系統(tǒng)中,這種泵可單獨使用,或作為增壓泵、擴散泵等的前級泵。
真空泵的工作壓強
真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。 正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。 真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。