凈化工程是指對(duì)無(wú)塵室的設(shè)計(jì)施工過(guò)程，無(wú)塵室是污染控制的基礎(chǔ)，在一定的空間范圍內(nèi)將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并且將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力及氣流速度等方面都控制在一定的范圍內(nèi)。在凈化工程中各方面的條件都是有要求的，本文接下來(lái)就簡(jiǎn)單介紹一下氣壓的規(guī)定是怎樣的。 在大多數(shù)的凈化工程中，室內(nèi)的氣壓都需要保持高于外部的氣壓，這些氣壓指的都是靜壓，這是為了防止外界的污染的進(jìn)入，如果內(nèi)部的高于外部，便可以避免這種情況的出現(xiàn)。

節(jié)能原則：無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計(jì)和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中。

不同級(jí)別的層流手術(shù)室其空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)不同，例如國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)I級(jí)層流手術(shù)室的標(biāo)準(zhǔn)為潔凈度5級(jí)，每立方尺空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù)，≤100顆或每升空氣中≤3.5 顆。II級(jí)層流手術(shù)室的標(biāo)準(zhǔn)為潔凈度6級(jí)，每立方尺空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù)，≤1000顆或每升空氣中≤35顆。III級(jí)層流手術(shù)室的標(biāo)準(zhǔn)為潔凈度7級(jí)，每立方尺空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù)，≤10000顆或每升空氣中≤352顆。依次類推。

不同級(jí)別的層流系統(tǒng)，其控制空間環(huán)境中的空氣置換率也不同，潔凈度級(jí)別越高，置換率越快，反之亦然。層流手術(shù)室墻壁應(yīng)用具有抑菌作用的特殊涂料粉刷，光線明亮，色彩柔和且不須用水清潔沖洗。

無(wú)菌室，一般是在微生物實(shí)驗(yàn)室內(nèi)專辟一個(gè)小房間。可以用板材和玻璃建造。面積不宜過(guò)大，約4-5平方米即可，高2.5米左右。無(wú)菌室外要設(shè)一個(gè)緩沖間，緩沖間的門和無(wú)菌室的門不要朝向同一方向，以免氣流帶進(jìn)雜菌。無(wú)菌室和緩沖間都必須密閉。室內(nèi)裝備的換氣設(shè)備必須有空氣過(guò)濾裝置。

      目前在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴沫等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無(wú)塵要求，等級(jí)差別也較大。