利用石英撓性加速度計(jì)可以測量航天器低頻微振動(dòng),同時(shí)也可實(shí)現(xiàn)航天器在軌微角振動(dòng)的間接測量。針對(duì)航天器特點(diǎn),結(jié)合石英撓性加速度計(jì)工作特性,提出用石英撓性加速度計(jì)測量航天器微振動(dòng)的方法,給出微振動(dòng)加速度、角加速度、角速度和角位移的不確定度分析,根據(jù)測量原理給出了各影響因素對(duì)測量合成不確定度的計(jì)算方法和分析結(jié)果。單軸石英撓性加速度計(jì)具有優(yōu)良的長期穩(wěn)定性、重復(fù)性、啟動(dòng)性能、環(huán)境適應(yīng)性及可靠性高等特點(diǎn)。產(chǎn)品既可用于靜態(tài)測試也可以用于動(dòng)態(tài)測試，也是一款標(biāo)準(zhǔn)的振動(dòng)傳感器。

石英加速度計(jì)分為振梁式和擺式（即撓性），目前國內(nèi)生產(chǎn)的都是石英撓性加速度計(jì)。石英撓性加速度計(jì)體積小、重量輕、精度高，長期穩(wěn)定性好。單軸石英撓性加速度計(jì)（簡稱QA表），屬于擺式撓性支撐力矩平衡加速度計(jì)，由石英差動(dòng)電容傳感器，電磁力矩器和伺服電路構(gòu)成，在結(jié)構(gòu)上具有體積小、重量輕、安裝簡單等優(yōu)點(diǎn)，因此得到廣泛的應(yīng)用。單軸石英撓性加速度計(jì)已涵蓋海、陸、空慣性導(dǎo)航領(lǐng)域；民用系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石油油井隨鉆測斜和連續(xù)測斜，高層建筑測斜，大壩測斜等，還可用于懸浮物體的姿態(tài)控制。

加速傳感器顧名思義是一種能夠測量出產(chǎn)品加速度的一種設(shè)備

加速傳感器顧名思義就是一種能夠測量出產(chǎn)品加速度的一種設(shè)備。生活中我們一般常用的主要是兩種加速度計(jì)，分別是角加速度計(jì)和線加速度計(jì)。英撓性加速度計(jì)結(jié)構(gòu)鐵由溫度系數(shù)低，導(dǎo)磁性能好的軟磁材料組成。磁鋼采用導(dǎo)磁性能比較良好的AL-Ni-Co8永磁材料，用無心磨床加工。撓的材料為溫度性能的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學(xué)腐蝕方法；也可以采用反應(yīng)離子蝕刻工藝加工整個(gè)撓，但造價(jià)很高。單軸石英撓性加速度計(jì)是具有先進(jìn)水平的新型傳感器，它精度高、長期穩(wěn)定性好、小型化。對(duì)加速度、速度、距離、搖擺、振動(dòng)、傾斜等物理量敏感、測量、控制方面的換代產(chǎn)品。

隨著慣性系統(tǒng)低成本化的發(fā)展，開始出現(xiàn)新型的非液浮的所謂干式加速度計(jì)。由于這種儀表采用撓性支承技術(shù)，所以稱為石英撓性加速度計(jì)，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡化。目前這種石英撓性加速度計(jì)已廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。單軸石英撓性加速度計(jì)撓性的材料為溫度性能很好的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學(xué)腐蝕方法；也可以采用反應(yīng)離子蝕刻工藝加工整個(gè)撓性材料，單軸石英撓性加速度計(jì)由伺服電路中差動(dòng)電容檢測器檢測，其輸出為電流，此電流經(jīng)電流積分器變成輸出電壓，然后跨導(dǎo)補(bǔ)償放大器把電壓變成輸出電流，該輸出電流的大小與輸入加速度成正比。