半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。例如在體內(nèi)某些酶的催化作用下，所攝取食物中的葡萄糖與氧氣進行一系列復(fù)雜的、緩和的氧化反應(yīng)。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級。    

           近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。目前在發(fā)展微電漿元件上有兩個主要的方向:(1)觀察電漿在微米尺寸與奈米尺寸之下的物理現(xiàn)象與光電特性，(2)發(fā)展不同結(jié)構(gòu)與材料來使得微電漿可以與光電科技等不同領(lǐng)域作整合應(yīng)用。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束，高純已成功打開國內(nèi)市場。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.

其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。

汽車高壓氙氣燈的發(fā)光原理是先透過增壓器將車上12伏的直流電壓瞬間增壓至23000伏的電流，通過沒有鎢絲超高壓產(chǎn)生的兩極電弧，經(jīng)過高壓振幅激發(fā)水晶玻璃管內(nèi)的氙氣電子游離，在兩電極之間產(chǎn)生有如白晝般強烈的光源，HID氙氣燈取代傳統(tǒng)鹵素?zé)魧⑹瞧嚢l(fā)展的大趨勢。藉由管內(nèi)導(dǎo)通的電流(電子被加速），形成氣體放電狀態(tài)，而發(fā)出光。

 一般車輛原廠的鹵素大燈大都需要耗費55－105w上下的電力，而HID氣體放電大燈組在安定器的穩(wěn)定作用下，運行電流僅為鹵素?zé)舻囊话?，平均只需?5w的電力來供應(yīng)氙氣燈泡發(fā)光。至于省下的電力，就等于省下的油錢。

 正常的HID燈光通量是2400流明左右，是普通鹵素?zé)舻娜兑陨稀ID燈的色溫由3000k到超過12000k；燈的色溫越高，它對霧和雨的穿透力越差?！傲阄豢諝狻笨梢杂脕碚{(diào)整儀表的零位，也可以用來提供一種低碳?xì)浠衔锖康难趸瘎?，以供分析器作用。而?000k左右的光色正好是白略微開始轉(zhuǎn)藍(lán)的色溫，也接近正午日光的顏色，人眼的接受度高。這樣的燈光用在車輛的夜間照明上，可以有效減少駕駛?cè)说囊曈X疲勞，車燈亮度的提高也有效擴大了車前方的視覺范圍，從而營造出更為安全的駕駛條件。

高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同。

例如對于氮，氫，，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；

而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；

對于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。

高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。