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傳統(tǒng)初中過(guò)濾的凈化方式機(jī)組只能做到過(guò)濾和交換新風(fēng),恒效運(yùn)行凈化機(jī)組可以將自動(dòng)除塵技術(shù)提升到將塵埃收集到規(guī)定容器,廢物回收利用;可以?xún)艋諝庵袣鈶B(tài)有機(jī)污染物、祛除異味;可以做到增氧補(bǔ)氧、解決車(chē)間的“悶罐”現(xiàn)象。并可將單一的凈化機(jī)組擴(kuò)展為恒溫:同凈化系統(tǒng)使用同一管道,相互獨(dú)立開(kāi)啟;恒濕:通過(guò)濕度傳感器自動(dòng)起關(guān)恒濕裝置,濕度低時(shí)自動(dòng)加濕,高時(shí)自動(dòng)抽濕,達(dá)設(shè)定濕度參數(shù);機(jī)組內(nèi)預(yù)留擴(kuò)展及升級(jí)模塊,不但可殺滅現(xiàn)有病菌病毒,對(duì)不能殺滅的新型病毒可通過(guò)升級(jí)完成,生物安全隔離,符合《突發(fā)公共衛(wèi)生事件應(yīng)急條例》。關(guān)鍵是可以將全部的功能模塊放在一個(gè)系統(tǒng),達(dá)到客戶(hù)所要求的標(biāo)準(zhǔn)。
無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,在滿(mǎn)足加工工藝的條件下,應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。
無(wú)塵車(chē)間-潔凈廠(chǎng)房的竣工驗(yàn)收,是在各分部單機(jī)試車(chē),無(wú)生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車(chē)自檢合格后進(jìn)行。竣工驗(yàn)收的內(nèi)容是對(duì)各分部工程的單機(jī)試車(chē)和無(wú)生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車(chē)的核查,潔凈室(區(qū))性能參數(shù)檢測(cè)和調(diào)試、各分部觀(guān)感質(zhì)量核查,按要求進(jìn)行功能檢測(cè)和調(diào)試。
潔凈廠(chǎng)房竣工驗(yàn)收時(shí),應(yīng)認(rèn)真檢查竣工驗(yàn)收的資料,一般包括下列文件及記錄:
1 圖紙會(huì)審記錄、設(shè)計(jì)變更通知書(shū)和竣工圖;
2 各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠(chǎng)合格證明及進(jìn)場(chǎng)檢驗(yàn)報(bào)告;
3 各分部工程的單機(jī)設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗(yàn)記錄;
4 各分部單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄;
5 各分部工程、系統(tǒng)無(wú)負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄;
6 各類(lèi)管線(xiàn)試驗(yàn)、檢查記錄;
7 各分部工程的安全設(shè)施的檢驗(yàn)和調(diào)試記錄;
8 各分部工程的質(zhì)量驗(yàn)收記錄。
無(wú)塵車(chē)間風(fēng)量該如何計(jì)算?
根據(jù)工藝要求確定無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級(jí),并決定利用全室空氣凈化還是局部空氣凈化,根據(jù)表選型表確定空氣氣流型式,無(wú)塵車(chē)間凈化空調(diào)的計(jì)算方法如下:
1.計(jì)算新風(fēng)量,取下列兩項(xiàng)中的大者,計(jì)算方法略;
(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持正壓值所需新鮮空氣量之和。
(2)保證潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3/小時(shí)。
2.計(jì)算潔凈室的冷熱負(fù)荷;
3.計(jì)算送風(fēng)量,取下列三項(xiàng)中的很大值,計(jì)算方法略;
(1)為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量。
(2)根據(jù)熱.濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量。
(3)向潔凈室內(nèi)的供給的新鮮空氣量(新風(fēng)量)。
4.根據(jù)送風(fēng)量,冷熱負(fù)荷和選擇的氣流組織形式,計(jì)算氣流組織各參數(shù);
5.確定空氣加熱冷卻的處理方案,用一次回風(fēng)還是二次回風(fēng);
6.根據(jù)工業(yè)要求或氣流組織計(jì)算時(shí)確定的送風(fēng)溫差及室內(nèi)外計(jì)算參數(shù),在i-d圖上確定各狀態(tài)點(diǎn),計(jì)算空調(diào)器處理風(fēng)量,潔凈室循環(huán)風(fēng)量;
7.計(jì)算總冷熱負(fù)荷,選擇空氣處理設(shè)備;
8.校核潔凈室內(nèi)的微粒濃度和細(xì)菌濃度。