蝕刻鋁牌工藝問(wèn)題
1:腐蝕鋁牌的瓷白,我做過(guò)好幾次,都不是特別理想,主要問(wèn)題是泡過(guò)以后當(dāng)時(shí)很好看,可是很容易臟。表面也很軟,還有就說(shuō)是需要用重鈣,我沒(méi)用和用了感覺(jué)效果差不多。這是為什么呢?還有這個(gè)需要在那個(gè)工序后面做呢?
2:鋁牌填漆,我上了漆以后用煤油清理周邊的多余漆,整版顏色都不白了啊。這個(gè)步驟應(yīng)該是怎么樣才能讓鋁牌特別白呢。要是先上漆后泡堿那漆就掉了啊。
3:那個(gè)廠家的感光油墨好用。麻點(diǎn)少,價(jià)格便宜?我現(xiàn)在用的這個(gè)噴的挺厚的,但是曝光顯影以后還是很多漏板的地方。
4:鋁牌清漆的問(wèn)題。我見(jiàn)別人做的鋁牌上面的清漆用稀釋劑等很多藥劑都細(xì)不掉,表面特別硬而且亮。用熱一點(diǎn)的水可以去除,感覺(jué)特粘,滑手。
蝕刻技術(shù) 一、名詞定義 均勻性( Uniformity)-- 相對(duì)平均值的變化,常在描述蝕刻速率,CD 和淀積物厚度時(shí)使用。 有以下幾種百分?jǐn)?shù)表示的數(shù)學(xué)定義: 平均均勻性=[(Max-Min)÷(2× AVG)]× 100% 中值均勻性=[(Max-min)÷ (Max+Min)]× 100% 3sigma 均勻性=(3× STD)÷ AVG× 100% 選擇比 (Selectivity) – 不同材料蝕刻速率的比值。 中止層 (Stopping layer) – 停止層,通常通過(guò)終點(diǎn)控制。所以﹐采用無(wú)銅的添加液來(lái)漂洗板子(第二次噴淋操作的方法)﹐可大大地減少銅的排出量。 剖面形貌 (Profile) – 器件結(jié)構(gòu)橫截面的形狀和傾斜度。

化學(xué)蝕刻(Chemical etching)-- 氣態(tài)物質(zhì)(中性原子團(tuán))與表面反應(yīng), 產(chǎn)物必定易揮發(fā),也稱為等離子蝕刻。 等離子增強(qiáng)蝕刻(Ion-enhanced etching)—單獨(dú)使用中性原子團(tuán)不能形成易揮發(fā)產(chǎn)物,具有一定 能量的離子改變襯底或產(chǎn)物;但不管怎樣,這種工藝過(guò)程,卻經(jīng)歷了二十多年的發(fā)展,直到目前為止,還不能完全取消這種傳統(tǒng)工藝。具有一定能量的離子改變襯底或產(chǎn)物層,這樣,化學(xué)反應(yīng)以后 能生成揮發(fā)性物質(zhì),亦稱為反應(yīng)離子蝕刻(RIE) 。 濺射蝕刻(Sputter etching)--具有一定能量的離子機(jī)械的濺射襯底材料。 蝕刻速率(Etch rate)--材料的剝離速率,通常以?/min,?/sec,nm/min, um/min 為單位計(jì) 量。 各向同性蝕刻( Isotropic etch)-- 蝕刻速率在所有方向都是相同的。