真空計(jì)是真空磁控濺射鍍膜機(jī)器上有什么作用

真空計(jì)：真空計(jì)是真空磁控濺射鍍膜機(jī)器上的重要組成部分，它是檢測(cè)鍍膜機(jī)真空度的重要手段。真空計(jì)根據(jù)其工作原理可以分為真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)，真空計(jì)可以直接測(cè)量壓強(qiáng)的高低，相對(duì)真空計(jì)只能間接測(cè)量真空度。蒸發(fā)系統(tǒng)主要指成膜裝置部分，鍍膜機(jī)器的成膜裝置很多，有電阻加熱、電子槍蒸發(fā)、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等多種方式，鄙人就電阻加熱和電子槍蒸發(fā)兩種方式作介紹，因?yàn)榇藘煞N方式我應(yīng)用的比較多。電子束蒸發(fā)的大優(yōu)點(diǎn)在于：電子束的光斑可以隨意調(diào)整，可以一槍多用，燈絲可以隱藏，避免污染，可以蒸發(fā)任意鍍膜材料，維修方便，蒸發(fā)速度可以隨意控制，材料分解小，膜密度高。機(jī)械強(qiáng)度好。成膜控制系統(tǒng)，薄膜監(jiān)控目前應(yīng)用方式比較多，主要有：目視監(jiān)控法，定（極值）值監(jiān)控、水晶振蕩監(jiān)控、時(shí)間監(jiān)控等等。本人主要介紹目視監(jiān)控、定（極值）監(jiān)控和水晶振蕩監(jiān)控三種。目視監(jiān)控也叫直接監(jiān)控，就是采用眼睛監(jiān)控，因?yàn)楸∧ぴ谏L(zhǎng)的過(guò)程中，由于干涉現(xiàn)象會(huì)有顏色變化，我們就是根據(jù)顏色變化來(lái)控制膜厚度的，此種方式有一定的誤差，所以不是很準(zhǔn)確，需要依靠經(jīng)驗(yàn)。

真空鍍膜設(shè)備作業(yè)時(shí)的應(yīng)急預(yù)案,你懂多少?

首先設(shè)備工作一段時(shí)間，需要清理打掃，一般50到70爐次，需清理打掃，把粉塵清出爐外，然后空爐工作一次。工作的方式是先抽空為真空度高于10-2Pa時(shí)加熱，加熱溫度一般高于正常使用溫度的20℃。在高爐溫時(shí)保溫一個(gè)小時(shí)以上，然后自然冷卻。這樣使設(shè)備內(nèi)部空間保持清潔。然后應(yīng)該先涂少量真空泵油對(duì)旋轉(zhuǎn)部件的潤(rùn)滑表面。請(qǐng)注意清潔，非鐵，沙子和灰塵進(jìn)入真空泵，定位要接觸良好。真空泵的安裝應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)輕松，無(wú)凹凸不平和堵塞現(xiàn)象嚴(yán)重。真空鍍膜設(shè)備所用充氣氣瓶需更換時(shí)，拆掉穩(wěn)壓閥，換上一瓶新氣，一定要注意安裝時(shí)不許漏氣。在換上新氣瓶后，在工件沒加熱前，應(yīng)在抽空過(guò)程中對(duì)爐內(nèi)充氣，以便在換氣瓶過(guò)程中造成的管路內(nèi)存有的大氣抽出，使充氣管路保持清潔。正常工作時(shí)，如果發(fā)現(xiàn)設(shè)備突然漏氣，如馬上能找到泄，須用真空封泥把泄封住，待工作完畢后，再做處理。如不能確定泄露處，則應(yīng)立即停止工作，然后檢修。

我們經(jīng)常有時(shí)候會(huì)碰到機(jī)器在運(yùn)行的時(shí)候，碰到高溫時(shí)斷水、斷電，這是讓人頭疼的事情。因此用戶好在設(shè)備安裝時(shí)建有備用水箱或者連有自來(lái)水管。設(shè)備在高溫時(shí)斷水、斷電‘此時(shí)，泵、閥門均處于關(guān)閉狀態(tài)，操作人員應(yīng)馬上接通備用水或自來(lái)水，對(duì)設(shè)備進(jìn)行水冷，如不能很快來(lái)電，還應(yīng)打開充放氣系統(tǒng)的手動(dòng)充氣閥，對(duì)設(shè)備進(jìn)行充氣保護(hù)，充氣壓力為-0.02MPa左右。然后，把控制柜上的所有按鈕關(guān)至“關(guān)”的位置。同事用濕毛巾搭在電極引出接口處，定期更換，以免電極接口過(guò)熱，造成密封圈損壞。

用真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝有哪些優(yōu)勢(shì)

用真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝，不但能節(jié)省大量的膜材和降低能耗，而且還會(huì)消除濕法鍍膜中所產(chǎn)生的環(huán)境污染。因此國(guó)外在鋼鐵零件涂鍍防腐層和保護(hù)膜方面，已采用真空鍍膜工藝來(lái)代替電鍍工藝。在冶金工業(yè)中，為鋼鐵和帶鋼加鍍鋁防護(hù)層已很普遍；在機(jī)械制造業(yè)中，真空鍍膜工藝用于改變改變某些加工工藝和節(jié)約貴重的原材料，如飛機(jī)渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片已經(jīng)不用價(jià)格昂貴的耐高溫金屬制造，而是采用價(jià)格低廉易加工材料，成形后再用真空鍍膜的方法在葉片表面上加鍍耐高溫，耐腐蝕的防護(hù)層。再如汽車制造業(yè)中采用塑料制品金屬化零件代替各種金屬零件，既減輕了汽車的重量又節(jié)約了燃油的消耗。在金屬切削刀具上加鍍TiN硬膜可使用刀具壽命提高3～6倍，從而節(jié)省了大量的高速鋼材。塑料薄膜采用真空磁控濺射鍍膜機(jī)鍍膜的方法加鍍鋁等金屬膜，再進(jìn)行染色，可得到用于工業(yè)中的裝飾品薄膜。

真空鍍膜設(shè)備中頻磁控濺射知識(shí)

真空鍍膜設(shè)備中頻磁控濺射知識(shí) 源分平衡和非平衡式，平衡式靶源鍍膜均勻，非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結(jié)合力強(qiáng)。平衡靶源多用于半導(dǎo)體光學(xué)膜，非平衡多用于磨損裝飾膜。 不管平衡非平衡，若磁鐵靜止，其磁場(chǎng)特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率，可采用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)。但旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，同時(shí)濺射速率要減小。旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)多用于大型或貴重靶。如半導(dǎo)體膜濺射。對(duì)于小型設(shè)備和一般工業(yè)設(shè)備，多用磁場(chǎng)靜止靶源。 用磁控靶源濺射金屬和合金很容易，點(diǎn)火和濺射很方便。這是因?yàn)榘校帢O），等離子體，和被濺零件真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源，回路中加入很強(qiáng)的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個(gè)電容。