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磁控濺射鍍膜設(shè)備及技術(shù)
(專利技術(shù))該設(shè)備選用磁控濺射鍍一層薄薄的膜(MSP)技術(shù)性,是這種智能、率的鍍膜設(shè)備。歷經(jīng)30很多年的發(fā)展趨勢,磁控濺射技術(shù)性早已發(fā)展趨勢變成制取超硬、耐磨損、低摩擦阻力、抗腐蝕、裝飾設(shè)計及其電子光學(xué)、熱學(xué)等多功能性塑料薄膜的這種不能取代的方式??梢罁?jù)客戶規(guī)定配備轉(zhuǎn)動磁控靶、單脈沖濺射靶、中頻孿生濺射靶、非均衡磁控濺射靶、霍耳等離子技術(shù)源、考夫曼離子源、直流電單脈沖累加式偏壓開關(guān)電源等,組態(tài)靈便、主要用途普遍,主要用于金屬材料或非金屬材料(塑膠、夾層玻璃、瓷器等)的鋼件鍍鋁、銅、鉻、鈦金板、銀及不銹鋼板等陶瓷膜或式陶瓷膜及滲金屬材料DLC膜,所鍍一層薄薄的膜層勻稱、高密度、粘合力強等特性,可普遍用以電器產(chǎn)品、時鐘、陶瓷藝術(shù)品、小玩具、大燈反光罩及其儀表設(shè)備等表層裝飾藝術(shù)鍍一層薄薄的膜及工磨具的作用鍍層。2離子轟擊滲擴技術(shù)性的特性(1)離子轟擊滲擴更快因為選用低溫等離子無心插柳,為滲劑分子和正離子的吸咐和滲人造就了高寬比活性的表層,提升了結(jié)晶中缺點的相對密度,比傳統(tǒng)式的汽體滲擴技術(shù)性速率明顯增強。在一樣加工工藝標(biāo)準(zhǔn)下,滲層深度1在0.05二以內(nèi),比汽體滲擴提升1倍。在較高溫度下,1h就能達lmm厚。(2)對鋼件表層改..
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真空磁控濺射鍍膜
說白了無心插柳就是說用荷能物體(一般 用稀有氣體的正離子)去轟擊固態(tài)(下列稱靶材)表層,進而造成靶材表層上的分子(或分子結(jié)構(gòu))從在其中逸出的這種狀況。濺射方法很多,主要有二級濺射、三級或四級濺射、磁控濺射、對靶濺射、射頻濺射、偏壓濺射、非對稱交流射頻濺射、離子束濺射以及反應(yīng)濺射等。這一狀況是格洛夫(Grove)于1842年在試驗科學(xué)研究陰極浸蝕難題時,陰極原材料被轉(zhuǎn)移到真空管內(nèi)壁而發(fā)覺的。
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所謂濺射就是用荷能粒子(通常用惰性氣體的正離子)去轟擊固體(以下稱靶材)表面,從而引起靶材表面上的原子(或分子)從其中逸出的一種現(xiàn)象。這種沉積速度顯然增加了鍍膜成本,從而限制了磁控濺射鍍膜在光學(xué)上的應(yīng)用。這一現(xiàn)象是格洛夫(Grove)于1842年在實驗研究陰極腐蝕問題時,陰極材料被遷移到真空管壁上而發(fā)現(xiàn)的。
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