質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡(jiǎn)稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計(jì)算即可。

假設(shè)某臺(tái)MFC是用N2標(biāo)定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數(shù)時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí)，考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。

MFC質(zhì)量流量控制簡(jiǎn)介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的，簡(jiǎn)稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng)，工業(yè)過(guò)程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。

質(zhì)量流量計(jì)故障處理方法

硬件故障若出現(xiàn)誤差偏大，積算器顯示不亮或不增值，顯示器空白位等現(xiàn)象，其原因：

a.安裝不規(guī)范，可直接導(dǎo)致流量計(jì)零漂，如質(zhì)量流量計(jì)安裝在泵出口處較近，傳感器支撐強(qiáng)度不夠，連接法蘭焊接不當(dāng)產(chǎn)生應(yīng)力信號(hào)，電纜受電磁干擾。

b.接線問(wèn)題若出現(xiàn)顯示器不亮現(xiàn)象，應(yīng)檢查積算器電源連線，若出現(xiàn)保險(xiǎn)絲被燒，應(yīng)確認(rèn)輸入電壓與標(biāo)準(zhǔn)電壓標(biāo)稱值，交直流形式是否一致。又若出現(xiàn)積算器不隨流量增加時(shí)，應(yīng)檢查積算器接線，若積算器裝有正/反向程序，應(yīng)檢查流量計(jì)接線，因流量計(jì)接線不正確，會(huì)使積算器在反向流時(shí)不遞增。

c.工藝介質(zhì)變化若測(cè)量介質(zhì)出現(xiàn)夾氣，氣化或兩相流等現(xiàn)象，變送器會(huì)出現(xiàn)報(bào)警顯示，嚴(yán)重時(shí)，傳感器停止工作。

d.變送器失效。

e.傳感器失效。

f.管道吹掃問(wèn)題。

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