因此將廢氣以一般風(fēng)車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來源于化學(xué)清洗工作站，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過水洗中和處理，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過程時(shí)所產(chǎn)生，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

為了便于風(fēng)道就位，一般多采用將風(fēng)道吊在腳手架上，然后再將其抬放在風(fēng)道支架上的方法。腳手架應(yīng)沿其風(fēng)道長(zhǎng)度方向搭設(shè)，高度和位置應(yīng)適合施工操作，吊裝順序應(yīng)先干管后支、立管，

吊起時(shí)，吊點(diǎn)應(yīng)牢固，兩吊點(diǎn)應(yīng)均勻受力。垂直風(fēng)管可采用人工和大繩輔助就位。調(diào)整風(fēng)管保證垂直度要求。

風(fēng)道調(diào)直：就位在支架上的風(fēng)道，應(yīng)撥正位置，調(diào)整風(fēng)道橫平豎直，然后再按圖集要求固定。

螺旋風(fēng)管是用金屬帶料卷制成螺旋形咬縫的薄壁管，風(fēng)管廠家,通風(fēng)風(fēng)管圓形，無焊接，不漏氣，不漏水，多用于送風(fēng)和散裝物料輸送，代替?zhèn)鹘y(tǒng)的白鐵管（即手工咬縫鐵管）。是風(fēng)管的一種，全機(jī)制，直管無需手工敲打。

其主要用途如下：

(1) 送風(fēng)，包括通氣，如送鮮風(fēng)和排氣，這個(gè)范圍較廣，如工廠車間，生產(chǎn)場(chǎng)地空氣，由于有害氣體產(chǎn)生需要排出室外，又需要把室外空氣輸送至室內(nèi)。這時(shí)就要使用流量大而壓力小的空氣輸送管道，螺旋風(fēng)管就比較適用，一般情況下使用鍍鋅鐵管，有腐蝕性及特別潮濕場(chǎng)所使用不銹鋼管。

 部件方面，設(shè)備如果和風(fēng)管連接，那支吊架要重新單獨(dú)設(shè)置，并且他不能夠成為風(fēng)管的吊點(diǎn)。 雙吊桿支架在風(fēng)道就位后，應(yīng)保證橫擔(dān)平直，吊桿不扭轉(zhuǎn)，雙吊桿受力均勻。風(fēng)管支吊點(diǎn)與風(fēng)口、風(fēng)閥和自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)之間的距離，應(yīng)不小于200mm。風(fēng)道安裝時(shí)，進(jìn)、出風(fēng)日宜在風(fēng)道預(yù)制時(shí)開出洞口，如需在安裝完畢的風(fēng)道上現(xiàn)開風(fēng)口，其接口處應(yīng)嚴(yán)密。