氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用

（1）電子行業(yè)，微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類(lèi)傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)，管道、接頭、閥門(mén)、波紋管、各種真空泵、各類(lèi)排氣機(jī)組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機(jī)、激光軸分離器、鍍膜機(jī)、薄膜真空計(jì)。

（3）核工業(yè)，鈾分離裝置、存儲(chǔ)裝置、核發(fā)電裝置。

（4）制冷行業(yè)，冰箱、空調(diào)、汽車(chē)用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)、低溫儲(chǔ)槽。

（5）不銹鋼保溫器皿，真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（6）核工業(yè)、航空工業(yè)、航天工業(yè)、船舶工業(yè)、軍事電子六大類(lèi)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質(zhì)譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，氦質(zhì)譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)從而將它們彼此分開(kāi)，僅使氦離子通過(guò)其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的出口電極一般采用三柵結(jié)構(gòu)。在離子收集極前面有三個(gè)柵極G1、G2、G3。G1和G3接地，中間柵極G2與離化室相連。G1柵的狹縫決定了氦離子的運(yùn)動(dòng)半徑，而使除氦以外的其他離子打不到收集極上去。中間柵極G2的正電位對(duì)于正離子而言相當(dāng)于一個(gè)拒斥電場(chǎng)，只有具有一定能量的氦離子才能通過(guò)G2的狹縫，而由于碰撞失去能量的其他雜散離子即使進(jìn)入G1狹縫，也不能通過(guò)G2狹縫到達(dá)收集極，使收集極的氦離子流不受這些雜散離子的干擾。柵極G3是抑制離子在收集極上打出的二次電子不跑向G2，使它仍返回收集極，以防離子流的不穩(wěn)定。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

今天華誠(chéng)浩達(dá)的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理，希望對(duì)您有所幫助！

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專(zhuān)門(mén)用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不同種類(lèi)氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開(kāi)來(lái)。儀器對(duì)其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號(hào)，而對(duì)其他氣體沒(méi)有響應(yīng)，從而檢漏。